[实用新型]一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构。

背景技术

随着真空镀膜技术的发展,对薄膜质量和镀膜效率提出了更高的要求。许多镀膜产品，比如光学镜头、光学镜片等，在通常情况下需要进行双面镀膜。

目前的常规双面镀膜工艺是通过先后两次镀膜来完成工件两个表面的薄膜制备。两次镀膜之间，真空镀膜室需要放气和重新抽真空，也就是依次进行如下A、B、C、D四个步骤：A、将待镀膜工件装入治具,并对其一个表面进行真空镀膜；B、镀膜完成后将镀膜腔体破真空；C、把工件从治具中取出，对工件进行翻面和再装治具，某些情况下，将工件翻面前还需要一道清洗工序，以消除翻面工序带来的污染；D、镀膜腔体抽真空，并对工件的另一个表面镀膜。以上流程存在如下缺陷：两次镀膜之间的破真空、工件翻面和再抽真空工序的存在不利于生产效率的提高；另外，镀膜工序的增加不利于成膜工艺稳定性和产品良率的提高。

对于上述双面镀膜工艺流程存在的缺陷，可以采用双面连续镀膜加以避免，即采用翻转镀膜治具机构。在真空镀膜机中，承载镀膜工件的镀膜治具构成镀膜工件伞架的主体部分。工件伞架一般位于真空腔体的顶部，如图4所示。这种配置下，为实现双面连续镀膜而实施的镀膜工件伞架存在整体翻转的空间不足；另外，由于工件伞架重量较大，整体翻转的稳定性不易控制。因此，在采用翻转镀膜治具机构的镀膜机中，用于放置镀膜工件的伞架通常被等分成数个近似扇形区域，这些扇形区域的圆心均为镀膜伞架的中心，每个扇形区域即为一个翻转镀膜治具单元，如图3所示。通过机械驱动可以使翻转镀膜治具发生翻转，从而实现在镀膜腔体不破真空的情况下完成双面镀膜。

近来，随着人们对于镀膜设备的产能要求越来越高，将腔体做大并实现自动翻转基片成为很好的选择。但腔体做大时，如果不相应增加工件伞架上的镀膜治具单元的数量，从而减轻每个镀膜治具单元的重量，就会产生如下问题：因翻转板过大、过重，导致使用性能不稳定。并且，如果为了使每个翻转治具的重量减轻，而一味地将前述的镀膜工件伞架进一步细分成更多的扇形翻转镀膜治具单元，就会使这些扇形治具单元靠近工件伞架中心端的区域变得很狭窄而明显影响工件伞架的载片量，尤其是在镀膜工件较大的情况下。

发明内容

本实用新型的目的是根据上述现有技术的不足，提供了一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，通过在分割筋板上设置分支结构，实现对翻转镀膜治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机中翻转镀膜治具过重的问题，避免其过重时所导致的翻转不稳定问题，同时避免了扇形工件治具在靠近伞架中心端载片量受限的缺陷。

本实用新型目的实现由以下技术方案完成：

一种用于双面连续镀膜的分段式翻转镀膜治具机构，设置于真空镀膜机内的镀膜伞架上，所述镀膜伞架由镀膜伞架内圈、主支架与若干分割筋板构成，所述镀膜伞架内圈位于所述主支架中心且通过若干所述分割筋板与所述主支架连接固定，其特征在于：所述分割筋板的近端固定连接于所述镀膜伞架内圈外表面，所述分割筋板的远端设置有分支结构，所述分支结构由两个分支段构成，所述分支段分别向所述主支架延伸并与其构成连接固定，所述翻转镀膜治具安装于相邻的所述分割筋板之间，以及所述分割筋板上的两个所述分支段之间。

对于所述分支结构具有如下描述：所述分割筋板的远端设置有所述分支结构，构成所述分支机构的两个分支段的远端分别设置有所述分支结构，以此类推，在所述镀膜伞架内圈与所述主支架之间设置具有若干所述分支结构的所述分割筋板。

所述安装于所述分割筋板之间的翻转镀膜治具的近端固定设置有一转轴，所述转轴的另一端搭载在所述镀膜伞架内圈表面，两者之间构成转动配合；所述安装于所述分支段之间的翻转镀膜治具的近端固定设置有一转轴，所述分割筋板上的所述分支结构的分支口处开设有一凹槽，所述转轴的另一端搭载在凹槽内，两者之间构成转动配合。

所述翻转镀膜治具的远端固定连接有一翻转驱动拨盘。

本实用新型的优点是：具有分支和分割性；通过对治具分割形状的优化，解决大腔体真空镀膜机中翻转镀膜治具过重导致的翻转不稳定问题，同时避免了扇形翻转镀膜治具在靠近镀膜伞架中心端载片量受限的缺陷；相比于完全是扇形的翻转镀膜治具的镀膜伞架，在治具面积相同的情况下，本实用新型中的分段式翻转镀膜治具机构具有更多的载片量。

附图说明

图1为本实用新型的第一种结构示意图；

图2为本实用新型的第二种结构示意图；