[实用新型]一种中空的靶材组件

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种中空的靶材组件。

背景技术

磁控溅射是以一定能量的粒子（离子或中性原子、分子）轰击固体表面，使固体近表面的粒子获得足够大的能量而最终逸出固体表面，在此过程中，被轰击的固体称为靶材组件，靶材组件由靶材与背板组成。

靶材在溅射镀膜的过程中，由于磁感线分布的形状类似跑道形，因此，靶材的中部不会损耗材料，现有的靶材中部都没有设置通槽，因此无形中增加了材料的成本。

发明内容

为了解决现有技术中的不足，本实用新型的目的在于提供一种结构简单，能够节省材料成本的一种中空的靶材组件。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

一种中空的靶材组件，包括靶材和背板，所述靶材在背板上，所述靶材的中部设有通槽，通槽的两端分别向靶材长度方向的两端延伸。

所述通槽为长方形。

所述靶材由至少两块以上的单元块靶型材组成，单元块靶型材沿背板的长边方向顺序拼接。这样的结构，靶材生产工艺比较简单，制造成本低。

本实用新型采用以上技术方案，在靶材不损耗材质的部位设置通槽，这样可以节省靶材的用量，降低了生产成本。另外，本实用新型结构简单，生产方便，容易实施。

附图说明

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明：

图1为本实用新型一种中空的靶材组件的正视图；

图2为本实用新型一种中空的靶材组件的俯视图。

具体实施方式

如图1或图2所示，本实用新型一种中空的靶材组件，包括靶材1和背板2，所述靶材1在背板2上，所述靶材1的中部设有通槽3，通槽3的两端分别向靶材1长度方向的两端延伸。

如图2所示，所述通槽3为长方形。通槽3也可以为跑道形、椭圆形等。

所述靶材1由至少两块以上的单元块靶型材11组成，单元块靶型材11沿背板2的长边方向顺序拼接。这样的结构，靶材1生产工艺比较简单，制造成本低。

本实用新型在靶材不损耗材质的部位设置通槽，这样可以节省靶材的用量，降低生产成本。