[实用新型]一种用于切割晶片的线锯机

说明书

技术领域

本实用新型涉及到一种线锯机，尤其涉及到一种半导体行业中用于切割晶片的线锯机。

背景技术

目前的线锯机，其结构包括：机架以及活动设置在机架上的收线装置、放线装置、导线装置以及水平布置的主、从动辊和驱动主动辊旋转的主动辊驱动装置，主、从动辊的辊面上设置有相互配合的等螺距的螺旋导向槽，切割线由放线装置送出，经过导线装置中的导入机构后缠绕在主、从动辊的螺旋导向槽上，然后经由导线装置中的导出机构后收卷在收线装置上；在主、从动辊的上方设置有用于冷却的润滑切割线的冷却润滑机构。这种双辊结构的线锯机，切割线缠绕在主、从动辊上之后，形成上、下切割线层，在使用过程中，只有下切割线层才真正起切割作用，而且晶体在切割过程中不能碰到上切割线层，这样就使得所能切割晶体的直径受到限制，必须小于主、从动辊的直径，使得该线锯机的加工范围较小。此外，众所周知，冷却润滑机构最终所要冷却润滑的是下切割线层，但是，由于冷却润滑机构安装在主、从动辊的上方即上切割线层的上方，冷却润滑剂受到上切割线层的阻挡，影响了对下切割线层的冷却润滑效果。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：提供一种使待切割晶体的直径与主、从动辊无关、并可提高冷却润滑效果的用于切割晶片的线锯机。

为解决上述技术问题，本实用新型采用的技术方案为：一种用于切割晶片的线锯机，包括：机架以及活动设置在机架上的主动辊、收线装置、放线装置、导线装置和驱动主动辊旋转的主动辊驱动装置，主动辊的辊面上设置有等螺距的螺旋导向槽，所述的机架上在主动辊的下方还活动设置有一对从动辊，机架上在主动辊与这一对从动辊之间设置有冷却润滑过滤装置，这一对从动辊的辊面上分别设置有若干道与主动辊上的螺旋导向槽相对应的环形导向槽，这一对从动辊辊面上相对应的环形导向槽的中心线位于同一垂直平面上，相邻环形导向槽之间的间距与所述主动辊上的螺旋导向槽的螺距相等，所述的冷却润滑过滤机构包括：过滤网，所述的机架上设置有沿着主动辊的轴向布置的一对定位管和至少一根喷淋管，这至少一根喷淋管位于所述的一对定位管之间，喷淋管的下部设置有若干个喷淋孔，定位管上沿着轴向即定位管的长度方向开设有宽度大于过滤网厚度的挂接槽，所述过滤网的两端设置有与定位管上的挂接槽相配合的定位条，使得定位条穿设在相应的定位管中不掉出。

作为一种优选方案，在所述的用于切割晶片的线锯机中，所述的喷淋管至少有三根，以所述的一对从动辊之间的中分线为轴对称线对称布置。

作为一种优选方案，在所述的用于切割晶片的线锯机中，所述的喷淋管上以喷淋管的底线为轴对称线对称设置有至少三排轴向布置的喷淋孔。

作为一种优选方案，在所述的用于切割晶片的线锯机中，所述过滤网的横截面呈“U”形。

作为一种优选方案，在所述的用于切割晶片的线锯机中，所述的一对从动辊对称布置在主动辊的两侧下方，使得主动辊与这一对从动辊形成等腰三角形布置。

本实用新型的有益效果是：由于本实用新型采用三辊结构即一根主动辊和两根从动辊，形成在主、从动辊的辊面上的侧切割线层对所要切割晶体的尺寸没有影响，从而大大拓宽了所述线锯机的加工范围；此外，由于冷却润滑机构以设置在主动辊和一对从动辊之间，直接对下切割线层进行冷却和润滑，大大提高了冷却润滑效果。另外，通过设置多根喷淋管和设置在多排喷淋孔，进一步提高了冷却润滑效果；横截面呈“U”形的过滤网，使得冷却润滑剂更为集中地对下切割线层进行冷却润滑，更进一步提高冷却润滑效果。

附图说明

图1是本实用新型所述线锯机的局部剖视结构示意图。

图2是图1中A部分的放大结构示意图。

图1至图2中的附图标记为：1、主动辊，2、左从动辊，3、右从动辊，4、过滤网，41、过滤孔，42、定位条，5、定位管，51、挂接槽，6、喷淋管，61、喷淋孔，7、导入轮，8、导出轮，9、切割线。

具体实施方式

下面结合附图，详细描述本实用新型所述的一种用于切割晶片的线锯机的具体实施方案：