[实用新型]一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置

权利要求书

1.一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，包括坩埚、火山口和多个衬锅；所述坩埚设有多个坩埚容器；所述衬锅内盛放蒸镀源并放置在所述坩埚容器内，且所述坩埚上方置有所述火山口，其特征在于：所述蒸镀装置还包括多个升降装置和驱动装置；所述坩埚底端开设有多个孔口，所述升降装置穿过孔口与所述坩埚组合，并在所述驱动装置的调节下控制衬锅的运作状态。

2.根据权利要求1所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述衬锅运作时，将其上升到设定高度，并且不低于火山口的下端。

3.根据权利要求1所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述升降装置包括倒工字型升降台和弹性件。

4.根据权利要求3所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述倒工字型升降台上端放置所述衬锅。

5.根据权利要求3所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述弹性件位于倒工字型升降台中间并包裹于其外周。

6.根据权利要求3所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述弹性件为弹簧。

7.根据权利要求1所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述升降装置与所述坩埚容器数目一致。

8.根据权利要求1所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述驱动装置包括推杆和驱动电机。

9.根据权利要求8所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述推杆的长度可调节。

10.根据权利要求8所述的一种防止蒸镀源交叉污染的蒸镀装置，其特征在于：所述驱动电机通过推杆调节所述升降装置与所述衬锅朝向或背离所述火山口运动。