[实用新型]坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构及生长炉有效
| 申请号： | 201420584845.5 | 申请日： | 2014-10-11 |
| 公开（公告）号： | CN204080175U | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 龚四均 | 申请（专利权）人： | 成都东骏激光股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 成都九鼎天元知识产权代理有限公司 51214 | 代理人： | 孙杰;曾晓波 |
| 地址： | 610000 四川*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 坩埚 下降 生长 密封 机构 | ||
1.一种坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：包括坩埚杆（1）和炉体（2），所述坩埚杆（1）穿过炉体（2）的底部至炉膛内，且坩埚杆（1）可相对于炉体（2）上下升降，炉体（2）的坩埚杆（1）配合面上设置有上密封机构（3），坩埚杆（1）的炉体（2）外侧段还套设有可伸缩套件（7），所述可伸缩套件（7）的上端与炉体（2）密封连接，下端与坩埚杆（1）密封配合。
2.如权利要求1所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：所述坩埚杆（1）套设有上接头（5），所述上接头（5）固定于炉体（2）上，且炉体（2）和上接头（5）间设置有密封圈（4），所述可伸缩套件（7）的上端通过上接头（5）与炉体（2）密封连接。
3.如权利要求1所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：所述可伸缩套件（7）的下端与坩埚杆（1）的配合面设置有下密封机构（8），所述可伸缩套件（7）的下端通过下密封机构（8）与坩埚杆（1）密封配合。
4.如权利要求3所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：所述下密封机构（8）为油封。
5.如权利要求1所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：所述上密封机构（3）为油封。
6.如权利要求1所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：还包括升降座（11），所述坩埚杆（1）的下端连接于升降座（11）上。
7.如权利要求6所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：所述可伸缩套件（7）的下端固定设置于坩埚杆（1）或升降座（11）上。
8.如权利要求7所述的坩埚下降法生长炉的坩埚杆密封机构，其特征在于：所述可伸缩套件（7）的下端通过下接头（9）与设置于坩埚杆（1）或升降座（11）上的连接盘（10）连接。
9.一种坩埚下降法生长炉，其特征在于：采用如权利要求1至8任一项所述的坩埚杆密封机构。
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