[实用新型]一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构装置有效
| 申请号： | 201420585670.X | 申请日： | 2014-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN204182917U | 公开（公告）日： | 2015-03-04 |
| 发明（设计）人： | 赵艳;李双浩;蒋毅坚 | 申请（专利权）人： | 北京工业大学 |
| 主分类号： | B22F9/04 | 分类号： | B22F9/04;B22F1/02;C01G9/02;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 北京思海天达知识产权代理有限公司 11203 | 代理人： | 刘萍 |
| 地址： | 100124 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 采用 脉冲 激光 液相烧蚀 法制 纳米 结构 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构的装置，其特征在于：包括准分子激光器、反射镜、聚焦镜、石英窗口、烧杯、烧蚀靶材和旋转平台，所述反射镜位于聚焦镜上方，所述聚焦镜位于石英窗口上方，所述石英窗口位于烧杯顶部，所述烧蚀靶材固定在烧杯内底部，所述烧杯位于旋转平台上，石英窗口、烧杯与旋转平台转轴同轴，旋转平台的转速可调。
2.根据权利要求1所述采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构的装置，其特征在于采用的烧蚀靶材已经去除氧化层，且表面经过机械抛光。
3.根据权利要求1所述采用脉冲激光液相烧蚀法制备纳米结构的装置，其特征在于所说的准分子激光是KrF准分子激光，激光参数：波长248nm，单脉冲能量100mJ-1000mJ，重复频率1-50Hz。
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