[实用新型]一种单晶硅棒粘接机有效
申请号: | 201420587507.7 | 申请日: | 2014-10-11 |
公开(公告)号: | CN204162836U | 公开(公告)日: | 2015-02-18 |
发明(设计)人: | 牛聚岗;吴立涛;张勇;张迎昭;李建;吴计芳;李永峰 | 申请(专利权)人: | 宁晋松宫电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单晶硅 接机 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种单晶硅棒粘接机。
背景技术
单晶粘接工装固定晶托一直以来使用螺栓固定,螺栓上有螺纹,晶托上有螺纹孔。晶托通过螺栓固定和拆卸均需要在螺纹上旋紧和旋出,费时费力,且长时间使用,螺栓上的螺纹和晶托上的螺纹孔易磨损,随着磨损的严重程度增加,螺栓固定晶托时需要胶装垫片,根据磨损程度不同,加装的垫片数量、厚度也不一样,在加装垫片和调换厚度时更是浪费时间、且定位出现偏差。使用到一定寿命时还需要更换固定螺栓和批量修复螺纹孔,费用较高。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种单晶硅棒粘接机,它具有制作成本低、自动化程度高、晶托安装定位准确、工作效率高等特点。
为解决上述技术问题,本实用新型所采取的技术方案是:
一种单晶硅棒粘接机,包括底座,在底座的一端通过晶托支撑座固定连接晶托固定装置,晶托固定装置包括电磁铁,电磁铁的一端与晶托支撑座固定连接,电磁铁的另一端与晶托固定盘固定连接,晶托固定盘的盘面设有与晶托上的螺栓连接孔相适配的晶托定位柱,电磁铁的电磁线圈通过常闭按钮和电感式接近开关与电源串联;晶托固定盘设有垂直于晶托固定盘盘面的电感式接近开关安装孔,电感式接近开关安装于电感式接近开关安装孔内,电感式接近开关的位置检测端位于晶托固定盘盘面的一侧。
本实用新型进一步改进在于:
电感式接近开关安装孔位于晶托固定盘的中部。
电源采用24V直流电源。
采用上述技术方案所产生的有益效果在于:
本实用新型包括底座,在底座的一端通过晶托支撑座固定连接晶托固定装置,晶托固定装置包括电磁铁,电磁铁的一端与晶托支撑座固定连接,电磁铁的另一端与晶托固定盘固定连接,通过电磁铁所产生的电磁力对晶托进行固定安装,较之前螺栓固定相比,自动化程度有了很大的提高,提高了工作效率,且避免了在长期使用中螺纹的磨损产生的维修费用;晶托固定盘的盘面设有与晶托上的螺栓连接孔相适配的晶托定位柱,晶托安装定位准确,提高了产品质量;电磁铁的电磁线圈通过常闭按钮和电感式接近开关与电源串联;晶托固定盘设有垂直于晶托固定盘盘面的电感式接近开关安装孔,电感式接近开关安装于电感式接近开关安装孔内,电感式接近开关的位置检测端位于晶托固定盘盘面的一侧。当位于晶托固定盘盘面的电感式接近开关检测到晶托就位后,自动闭合,使电磁线圈形成通路,将晶托牢牢吸附在晶托固定盘盘面上,避免了因为人为控制开关造成的安装晶托时定位不便,提高了自动化程度。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是图1中晶托固定装置的结构示意图;
图3是图1中晶托固定装置的控制电路图。
在附图中:1、底座、2、晶托支撑座;3、电磁铁;4、晶托固定盘;5、晶托定位柱;6、晶托;7、单晶硅棒校正盘;E、24V直流电源;JJ、电感式接近开关;OA、常闭按钮;YA、电磁线圈。
具体实施方式
下面将结合附图和具体实施例对本实用新型进行进一步详细说明。
由图1-3所示的实施例可知,本实施例包括底座1,在底座1的一端通过晶托支撑座2固定连接晶托固定装置,晶托固定装置包括电磁铁3,电磁铁3的一端与晶托支撑座2固定连接,电磁铁3的另一端与晶托固定盘4固定连接,晶托固定盘4的盘面设有与晶托6上的螺栓连接孔相适配的晶托定位柱5,电磁铁3的电磁线圈YA通过常闭按钮OA和电感式接近开关JJ与24V直流电源E串联;晶托固定盘4的中部设有垂直于晶托固定盘盘面的电感式接近开关安装孔,电感式接近开关JJ安装于电感式接近开关安装孔内,电感式接近开关JJ的位置检测端位于晶托固定盘4盘面的一侧。
工作原理及使用方法:
将晶托安装在晶托固定盘上,晶托上的螺孔套入晶托定位柱,即完成了晶托的定位,。当位于晶托固定盘盘面的电感式接近开关检测到晶托就位后自动闭合,使电磁线圈形成通路,将晶托牢牢吸附在晶托固定盘盘面上,当加工完毕需要卸下时,按下常闭按钮,使电磁线圈断路,将晶托移开晶托固定盘盘面较小距离后,电感式接近开关断路,此时即使松开常闭按钮,电磁线圈仍然保持断路状态,可轻松取下晶托完成操作。
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