[实用新型]精确控温加热平台

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种加热装置，特别是涉及一种应用于制造靶材组件的精确控温平台。

背景技术

靶材组件一般由靶材和背板连接而成，二者的连接方式包括钎焊、扩散焊接、机械复合等几种，其中，钎焊是将靶材与背板放置于加热平台上，通过加热平台对二者进行加热，到达预设温度后，涂覆焊料将二者复合，然后冷却至室温即可。在此过程中，加热平台对于温度的控制以及整个平台面的温度均匀性，将会直接影响到靶材组件的质量和性能。

现有的加热平台台面尺寸一般在1米左右，受尺寸的限制，其无法焊接尺寸长达2米甚至3米的TFT-LCD靶材组件和太阳能靶材组件，若简单的将台面尺寸扩大至1米以上，会出现温度控制不准确、台面温度不均匀的问题；台面温度控制不准确会出现靶材的某些部位温度尚未到达焊接温度，而某些部位已经超过靶材所能承受的最高温度，进而造成靶材组织变化，影响溅射成膜性能，台面温度不均匀会使靶材的不同部位受热不同，应力分布差别较大，焊接后靶材组件产生严重变形的问题。

实用新型内容

鉴于上述原因，本实用新型的目的在于提供一种精确控温加热平台，该加热平台的台面尺寸可根据靶材组件的尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小均可实现加热平台的精确控温，并保持台面温度的均匀性。

为实现上述目的，本实用新型采用以下技术方案：

精确控温加热平台，包括架体、台面、隔热层、加热管、第一控温仪及第二控温仪；

该架体上从下到上依次架设有该隔热层和该台面，该隔热层上交替、平行、等距的铺设有若干加热管，且每根加热管与该台面之间相距一安全距离；

在该隔热层上的每个加热区域之内设置该第一控温仪的热电偶；该台面上与该第一控温仪的热电偶相对应的位置设置第二控温仪的热电偶。

进一步的，

在所述隔热层上的每个加热区域的中间位置设置所述第一控温仪的热电偶，所述第二控温仪的热电偶设于所述台面上开有的通孔内，所述第一控温仪的热电偶与所述第二控温仪的热电偶位于同一横截面上。

所述每根加热管到所述台面的安全距离相等，所述安全距离在10mm～50mm之间。

所述第一控温仪及第二控温仪通过导线连接，所述第二控温仪的热电偶感测的台面温度经所述第二控温仪及导线传输给所述第一控温仪，所述第一控温仪根据该台面温度对所述加热管的温度进行控制。

所述台面的三个侧边围构挡板，另外一侧边延伸出所述架体一定长度，并在延伸出的侧边底部边缘处设有凹槽。

所述台面由铸铁制成，所述台面的厚度为50mm～100mm之间。

所述加热管采用U型加热管，该U型加热管的接线端折弯向下布置于所述架体下方。

所述台面上每一米的距离之内为一个加热区域。

所述隔热层选用石棉、岩棉或者陶瓷纤维棉等隔热耐火材料。

所述架体的支撑脚上设有调节螺栓。

本实用新型的优点在于：

本实用新型的精确控温加热平台，台面尺寸能够根据靶材组件的尺寸进行配置，且无论配置的台面尺寸大小，都能够精确控制台面温度，并保持台面温度的均匀性；同时，加热管和台面不相接触，台面的一侧底缘设有用于容置回流焊料的凹槽，加热管接线端设于架体下方等结构，均可保证操作人员的人身安全。

附图说明

图1是本实用新型的加热平台的立体分解示意图。

图2为本实用新型的加热平台局部示意图。

图3为本实用新型的加热平台的侧视图。

图4为本实用新型的加热平台的部分台面的透视图。

具体实施方式

以下结合附图和实施例对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的加热平台的立体分解示意图。图3为本实用新型的加热平台的侧视图。如图所示，本实用新型公开的精确控温加热平台，包括架体1、台面3、隔热层2、若干加热管4、第一控温仪及第二控温仪；

架体1上从下到上依次架设有隔热层2和台面3，隔热层2和台面3之间设有用于容置加热管4的容置空间，每根加热管4到台面3的距离相等，优选距离在10mm～50mm之间。