[实用新型]限位装置有效

专利信息
申请号: 201420588269.1 申请日: 2014-10-11
公开(公告)号: CN204138823U 公开(公告)日: 2015-02-04
发明(设计)人: 崔东凯;李保华;杜防修;刘浦锋;宋洪伟;陈猛 申请(专利权)人: 上海超硅半导体有限公司
主分类号: C30B35/00 分类号: C30B35/00
代理公司: 杭州中成专利事务所有限公司 33212 代理人: 金祺
地址: 201617 上海市松*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 限位 装置
【说明书】:

技术领域

本实用新型涉及晶体生长设备技术领域,尤其是涉及一种全自动石英熔化炉中的可调式籽晶头限位装置。

背景技术

全自动石英熔化炉通过籽晶夹头卡住现成的石英棒悬挂在炉体内进行高温熔化结晶,籽晶夹头一端连接着籽晶绳通过线轮控制升降。现有的机械限位反应不灵敏,即便籽晶夹头达到预定上下限位位置还会运动一段距离,容易使籽晶夹头碰到上炉盖,或者石英棒碰到坩埚诱发事故,且机械限位要开孔密封容易造成漏点;另外,籽晶腔体采用的对射式光电开关效果也不理想,因为线轮做直线和旋转复合运动,即便光电开关在轴向位置被阻挡产生信号,但径向产生的位移过大,达不到理想的控制精度。此外,这两种传统的限位装置上下限位位置很难调节。

发明内容

本实用新型目的是提供一种全自动石英熔化炉中的限位装置,以解决现有技术所存在上下限位控制精度不够,限位位置很难调节等技术问题。

为了解决上述技术问题,本实用新型提供一种限位装置,包括滑动机构、限位机构、套环机构;所述滑动机构包括设置有滑块的直线滑轨;所述限位机构包括两个感应式接近开关、垫块和金属挡片;所述两个感应式接近开关分别在垫块的两端,由垫块形成限位位移;相对应于两个感应式接近开关,所述金属挡片通过感应柱固定在直线滑轨上;所述套环机构包括带孔套环,所述带孔套环内设置有轴承,所述轴承内设置有固定线轮的空间;所述带孔套环通过折弯杆固定在滑块上。

作为对本实用新型所述的限位装置的改进:所述垫块的两端分别设置有螺杆,所述两个螺杆上分别设置有调节块,所述两个调节块上分别设置感应式接近开关,所述两个感应式接近开关和垫块之间分别设置有弹簧。

作为对本实用新型所述的限位装置的进一步改进:所述金属挡片上设置有长孔;所述金属挡片由螺栓Ⅰ穿过长孔后固定在感应柱上。

作为对本实用新型所述的限位装置的进一步改进:所述带孔套环通过过盈配合与轴承的外圈相互固定,所述轴承的内圈通过过盈配合的形式设置有线轮。

作为对本实用新型所述的限位装置的进一步改进:所述感应柱和滑块之间通过焊接固定。

作为对本实用新型所述的限位装置的进一步改进:所述折弯杆的一端插入滑块后,通过螺栓Ⅱ固定在滑块上;所述带孔套环插入折弯杆的另外一端后,通过螺栓Ⅲ固定在折弯杆的另外一端上。

本实用新型结构具有可以精确的控制上线限位的位置,且可以适当的调节上下限位位置等特点。线轮带动套环机构来控制滑动机构的直线运动,因只传递了轴向直线运动,使得轴向位移的精度显著提高,感应式接近开关对微量的位移变化反应灵敏高,精确控制上下限位的位置。感应柱开有槽口和金属挡片可以通过螺栓调节,来改变上下限位位置,此外也可以通过螺杆调节感应式接近开关的位置,来控制上下限位的位置,操作简便,容易控制。

附图说明

图1是本实用新型的主视结构示意图;

图2是本实用新型的俯视结构示意图。

具体实施方式

实施例1、图1和图2给出了一种全自动石英熔化炉中的可调式籽晶限位装置,主要由滑动机构、限位机构、套环机构等组成。

滑动机构包括直线滑轨1和滑块2,滑块2设置在直线滑轨1,可以沿着直线滑轨1进行滑动。限位机构包括垫块16、感应式接近开关8和金属挡片7。垫块16的左右两端分别设置有螺杆9,两个螺杆9上分别固定有调节块10,所述两个调节块10上分别设置感应式接近开关8,所述两个感应式接近开关8和垫块16之间分别设置有弹簧11;通过两个螺杆9与垫块16形成限位的位移,而两个螺杆9与垫块16之间均为螺纹连接,通过旋转螺杆9就可以调节限位位移值的大小。相对应于两个感应式接近开关8设置金属挡片7,金属挡片7通过感应柱5固定在滑块2上,感应柱5与滑块2之间通过焊接固定;而金属挡片7上设置有长孔,由螺栓Ⅰ6穿过长孔后,将金属挡片7由固定在感应柱5上;该金属挡片7通过长孔可以进行位置的微调。套环机构包括带孔套环12,带孔套环12内设置轴承13,带孔套环12通过过盈配合与轴承13的外圈相互固定,而轴承13的内圈通过过盈配合的形式设置有线轮14;带孔套环12通过折弯杆4与滑块2相互固定,折弯杆4的一端插入滑块2,并通过螺栓Ⅱ3固定在滑块2上;带孔套环12插入折弯杆4的另外一端后,通过螺栓Ⅲ15固定在折弯杆4的另外一端上。

在实际使用的时候,直线滑轨1固定在籽晶腔体底板上,垫块16固定在籽晶腔体侧板上,通过两个感应式接近开关8和金属挡片7相配合完成限位的功能。

工作时的步骤如下:

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海超硅半导体有限公司,未经上海超硅半导体有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420588269.1/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top