[实用新型]全自动真空电子枪镀膜装置有效
| 申请号： | 201420591947.X | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN204125525U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 张国勇 | 申请（专利权）人： | 秦皇岛国泰玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/30 | 分类号： | C23C14/30 |
| 代理公司： | 秦皇岛市维信专利事务所 13102 | 代理人： | 戴辉 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 全自动 真空 电子枪 镀膜 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种全自动真空电子枪镀膜装置，包括真空室，及垂直安装在真空室内的电子枪，该电子枪所对应于装载物料的电子枪坩埚；其特征是，包括有一输送带（4），该输送带（4）穿过真空室（5）位于电子枪（6）的上方；所述的电子枪（6）沿输送带（4）横截面方向按间隔排列至少一排以上且分布多只的电子枪。
2.根据权利要求1所述的全自动真空电子枪镀膜装置，其特征是，所述的真空室（5）两端进出口处安装有用于密封的真空锁（8）。
3.根据权利要求1所述的全自动真空电子枪镀膜装置，其特征是，所述的电子枪（6）多排排列时，每排可排列相同或非相同数量的电子枪。
4.根据权利要求1所述的全自动真空电子枪镀膜装置，其特征是，所述的电子枪（6）与一个一种被镀物料的电子枪坩埚相配置，也可与多种相同或不相同被镀物料的电子枪坩埚相配置。
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