[实用新型]多线切割机出线装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体切割装置的技术领域，具体地，涉及一种多线切割机出线装置。

背景技术

在半导体切割装置技术领域中，多线切割机技术作为一种比较先进的硅片加工技术，被当前绝大多数硅片生产厂家所采用。多线切割机的工作原理是将一根极细的钢线相互平行的缠绕在至少两个导轮上，形成一个水平的切割线网，切割线网将磨料带入待加工区域对磨料进行磨削，将硅柱等硬脆材料切割成数以千计的薄片，最后在出线口通过出线装置对钢线进行回收。

在多线切割机工作时，如果出现钢线断线故障，不但会造成线痕影响切割薄片的质量，还需要停机处理，将会带来巨大的经济损失。虽然出线口断线比较容易处理，但是也最容易出现断线，究其原因主要是现有结构中，出线口钢线、滑轮的布置不合理。如图1所示，钢线4从切割线网中出来至收线轮，需要先后途径一个定滑轮1和一个与可左右晃动的张力臂2连接的动滑轮3，在多线切割机工作时，由于机器的震动将导致张力臂2的左右晃动，使钢线4与动滑轮3的皮套频繁摩擦，同时一方面由于定滑轮与动滑轮之间悬空钢线（一般悬空距离在5米左右）的自重，使得动滑轮皮套与钢线的相互作用力增大，另一方面从待加工区域出来的钢线上附着有砂浆，将增大钢线与动滑轮皮套的摩擦系数，因此出线口的钢线在动滑轮处容易磨损而出现断线故障。

针对上述出线口结构不合理的问题，需要提供一种多线切割机的出线装置，减小钢线与动滑轮的磨损，从而减少多线切割机工作时出现断线故障的概率，提高生产效率并确保硅片的切割质量。

实用新型内容

针对上述出线口结构不合理的问题，本实用新型提供了一种多线切割机出线装置，减小了钢线与动滑轮皮套的磨损，进而降低了多线切割机工作时钢线在出线口断线的概率，最终提高了生产效率并确保硅片的切割质量。

本实用新型采用的技术方案,提供一种多线切割机出线装置，包括定滑轮，动滑轮和钢线，其特征在于,还包括：支撑第一定滑轮和动滑轮之间钢线的第二定滑轮；所述第二定滑轮位于第一定滑轮和动滑轮之间。通过第二定滑轮对钢线的支撑固定作用，减小悬空钢线的自重及动滑轮皮套与钢线的相互作用力，进而减小了钢线与动滑轮皮套的磨损。

具体的，所述第一定滑轮和动滑轮之间的钢线在同一平面上。所述多线切割机出线装置还包括连接动滑轮的张力臂。

具体的，所述钢线在第一定滑轮和动滑轮之间呈现一个向上的弧度。所述弧度为                                                ，大于0度且不大于1度。

进一步具体的，所述动滑轮至第一定滑轮间距为L1，所述第二定滑轮至第一定滑轮的间距为L2，L2与L1的比值为不小于0.5且不大于0.8的实数。

综上，采用本实用新型所提供的多线切割机出线装置，由于第二定滑轮对第一定滑轮和动滑轮之间的钢线起了一个支撑固定的作用，减小了悬空钢线的自重及动滑轮皮套与钢线的相互作用力，进而减小了钢线与动滑轮皮套的磨损，降低了多线切割机工作时钢线在出线口断线的概率，最终提高了生产效率并确保硅片的切割质量。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1是实际生产中的常用多线切割机出线装置结构示意图。

图2是本实用新型的多线切割机出线装置结构示意图。

图3是钢线在动滑轮处的受力分析示意图。

上述附图中：1、第一定滑轮   2、张力臂   3、动滑轮   4、钢线   5、第二定滑轮。

具体实施方式

以下将参照附图，通过实施例方式详细地描述本实用新型提供的多线切割机出线装置。在此需要说明的是，对于这些实施例方式的说明用于帮助理解本实用新型，但并不构成对本实用新型的限定。

本文中描述的各种技术可以用于但不限于多线切割机出线装置，还可以用于硅锭破锭机出现装置等其它类似领域。

本文中术语“和/或”，仅仅是一种描述关联对象的关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，单独存在B，同时存在A和B三种情况，另外，本文中字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”关系。