[实用新型]磁控溅射氧化物层的摩擦发电机及摩擦发电机组

权利要求书

1.一种磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，包括：

具有摩擦界面的摩擦发电结构；以及

至少一层氧化物层，所述氧化物层通过磁控溅射的方式设置在所述摩擦发电结构的摩擦界面的至少一个摩擦表面上。

2.根据权利要求1所述的磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，其特征在于，所述摩擦发电结构包括：至少两层电极层和至少一层高分子聚合物层；

所述氧化物层通过磁控溅射的方式设置在形成所述摩擦发电结构的摩擦界面的电极层或高分子聚合物层的表面上；

所述至少两层电极层为所述磁控溅射氧化物层的摩擦发电机的输出电极。

3.根据权利要求2所述的磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，其特征在于，所述摩擦发电结构包括依次层叠设置的第一电极层、高分子聚合物层和第二电极层；

所述第二电极层和所述高分子聚合物层固定设置在一起，所述第一电极层和所述高分子聚合物层正对贴合固定连接，所述氧化物层设置在所述第一电极层和所述高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一个表面上；

或者，所述第一电极层和所述高分子聚合物层固定设置在一起，所述高分子聚合物层和所述第二电极层正对贴合固定连接，所述氧化物层设置在所述高分子聚合物层和所述第二电极层正对贴合的两个表面中的任一表面上。

4.根据权利要求2所述的磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，其特征在于，所述摩擦发电结构包括依次层叠设置的第一电极层、第一高分子聚合物层、第二高分子聚合物层和第二电极层；所述第一电极层和所述第一高分子聚合物层固定设置在一起，所述第二电极层和所述第二高分子聚合物层固定设置在一起，所述第一高分子聚合物层和所述第二高分子聚合物层正对贴合固定连接；

所述氧化物层设置在所述第一高分子聚合物层和所述第二高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一表面上。

5.根据权利要求2所述的磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，其特征在于，所述摩擦发电结构包括依次层叠设置的第一电极层、第一高分子聚合物层、居间层、第二高分子聚合物层和第二电极层；其中，所述居间层为居间薄膜层或居间电极层；所述第一电极层和所述第一高分子聚合物层固定设置在一起，所述第二电极层和所述第二高分子聚合物层固定设置在一起，所述第一高分子聚合物层和所述居间层正对贴合、所述居间层和所述第二高分子聚合物层正对贴合固定连接；

所述氧化物层设置在所述第一高分子聚合物层和所述居间层正对贴合的两个表面中的任一表面上；和/或，所述氧化物层设置在所述居间层和所述第二高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一表面上。

6.根据权利要求2所述的磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，其特征在于，所述摩擦发电结构包括依次层叠设置的第一电极层、第一高分子聚合物层、居间电极层、第二高分子聚合物层和第二电极层；其中，所述第一高分子聚合物层、居间电极层、第二高分子聚合物层固定设置在一起，所述第一电极层和所述第一高分子聚合物层正对贴合、所述第二电极层与所述第二高分子聚合物层正对贴合固定连接；

所述氧化物层设置在所述第一电极层和所述第一高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一表面上；和/或，所述氧化物层设置在所述第二电极层和所述第二高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一表面上。

7.根据权利要求2所述的磁控溅射氧化物层的摩擦发电机，其特征在于，所述摩擦发电结构包括依次层叠设置的第一电极层、第一高分子聚合物层、第二高分子聚合物层、居间电极层、第三高分子聚合物层、第四高分子聚合物层和第二电极层；其中，所述第一电极层和所述第一高分子聚合物层固定设置在一起，所述第二高分子聚合物层、居间电极层和所述第三高分子聚合物层固定设置在一起，所述第二电极层和所述第四高分子聚合物层固定设置在一起，所述第一高分子聚合物层和所述第二高分子聚合物层正对贴合、所述第四高分子聚合物层和所述第三高分子聚合物层正对贴合固定连接；

所述氧化物层设置在所述第一高分子聚合物层和所述第二高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一表面上；和/或，所述氧化物层设置在所述第 四高分子聚合物层和所述第三高分子聚合物层正对贴合的两个表面中的任一表面上。