[实用新型]一种研磨垫调整器

权利要求书

1.一种研磨垫调整器，其特征在于，所述研磨垫调整器至少包括：研磨垫调整器手臂，以及藉由多根联轴连接于所述研磨垫调整器手臂上的多个研磨盘；所述多根联轴连接有用于分别控制各研磨盘的自转的第一动力装置、用于分别控制各研磨盘的升降的第二动力装置，以及用于控制至少一个研磨盘在所述研磨垫调整器手臂上移动的第三动力装置。

2.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述研磨盘的数量不少于2个。

3.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：各研磨盘为圆盘状结构。

4.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述第一动力装置为旋转电机。

5.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述联轴可实现伸展或收缩的伸缩杆。

6.根据权利要求5所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述第二动力装置为压缩空气产生装置，通过控制通入各联轴内的气体的压强来分别实现各联轴的伸展或收缩，进一步分别控制各研磨盘的升降。

7.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述第三动力装置为扫描电机。

8.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述第三动力装置控制所述研磨盘在所述研磨垫调整器手臂上水平移动。

9.根据权利要求1所述的研磨垫调整器，其特征在于：所述研磨盘与研磨机台、研磨头的旋转方向一致。