[实用新型]一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场有效

专利信息
申请号: 201420610793.4 申请日: 2014-10-22
公开(公告)号: CN204125567U 公开(公告)日: 2015-01-28
发明(设计)人: 吉爱华;王恩民;殷军;龙安泽 申请(专利权)人: 江苏泰源光电科技有限公司
主分类号: C30B29/20 分类号: C30B29/20;C30B15/14
代理公司: 南京知识律师事务所 32207 代理人: 汪旭东
地址: 223800 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 用于 生长 蓝宝石 晶体 长晶炉
【说明书】:

技术领域

实用新型涉及一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,属于蓝宝石生产设备技术领域。

背景技术

 众所周知,现在都是用热场生长蓝宝石晶体,长晶炉炉筒与盖的密封性直接影响到长出晶体的质量,大盖都是人工放到炉筒上的,稍有不谨,就容易使炉筒和大盖有偏差,炉内2000多度的高温很难保证,要达到蓝宝石晶体生长的温度,就得不停的加热,对电的消耗巨大,能源浪费严重,更重要的是严重影响长出的蓝宝石晶体产品质量,如何使热场密封良好是热场最需要关注的问题。

实用新型内容

针对上述问题,本实用新型提供了一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其目的在于:采用蓝宝石晶片的热场后,确保了长晶炉密封良好及炉内温度的一致性,节约了能耗,提高了保温效果和晶体成品率,为企业节约成本,提高生产效率,提高了产品质量。

本实用新型的技术解决方案:

一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒、所述炉筒内部设有侧屏氧化锆砖保温层,在侧屏氧化锆砖保温层内侧设置有内保温桶,在所述内保温桶的内腔中设置有钨筒加热器,在钨筒加热器的内腔中设置有钳锅,所述坩埚底部设有托盘,所述托盘底部设有与炉筒连接的坩埚轴,在坩埚上端设有坩埚盖板,钨筒加热器上方和下方分别设有上部保温层和下部保温层,其特征在于:所述炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,所述大盖下端表面上设有磁铁一,在炉筒上端表面上与所述磁铁一对应处设有磁铁二,所述磁铁一、磁铁二相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。

 所述磁铁一、磁铁二在炉筒和大盖上设置至少一处。

所述磁铁一为P型磁铁,磁铁二为N型磁铁。

所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。

所述磁铁一为N型磁铁,磁铁二为P型磁铁。

所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。

所述侧屏氧化锆砖保温层为三层结构。

所述坩埚轴材质为钨:钼比例为1:1的钨钼合金。

所述大盖材质为锌:镁:铝比例为1:2:3镀锌镁铝冷轧非合金钢。

所述炉筒材质为镍镉铬比例为1:1:1的镍镉铬合金。

所述坩埚材质为钨。

本实用新型的有益效果:

   本实用新型通过在炉筒于炉筒大盖之间设有磁感装置,使热场保温性能好、能耗明显降低,气体流向顺畅、利于挥发物排走、成晶稳定,延长设备使用寿命、降低生产成本;减少磁铁退磁和磁流体蒸发、避免磁流体密封漏气掉渣而影响直拉单晶生长,提高密封性能、延长使用寿命;使引晶、等径、转肩等拉晶工艺稳定,提高生产效率和成品率。相对比于现有技术中的单晶炉热场结构,可以减少单晶拉制过程中的热量散失,从而能够降低能耗,可以在保证晶体质量和生产效率的前提下,因此能够有效的降低单晶拉制成本。

附图说明

图1:本实用新型用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场结构原理示意图。

其中:1 炉筒  2 侧屏氧化锆砖保温层  3 内保温桶  4 钨筒加热器  5 坩埚  6 托盘  7 坩埚轴  8 坩埚盖板  9 上部保温层  10 下部保温层  11 大盖  12 小盖  13 磁铁二  14 磁铁一。

具体实施方式

下面结合附图和实施例来对本实用新型做进一步描述:

如图1所示,一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒1、所述炉筒1内部设有侧屏氧化锆砖保温层2,在侧屏氧化锆砖保温层2内侧设置有内保温桶3,在所述内保温桶3的内腔中设置有钨筒加热器4,在钨筒加热器4的内腔中设置有钳锅5,所述坩埚5底部设有托盘6,所述托盘6底部设有与炉筒1连接的坩埚轴7,在坩埚5上端设有坩埚盖板8,钨筒加热器4上方和下方分别设有上部保温层9和下部保温层10,所述炉筒1上端设有用于盖住炉筒1的大盖11、小盖12,所述大盖11下端表面上设有磁铁一14,在炉筒1上端表面上与所述磁铁一14对应处设有磁铁二13,所述磁铁一14、磁铁二13相互吸合时候,可使大盖11紧贴于炉筒1上表面与小盖12形成紧密配合。

实施例1:

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