[实用新型]一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场有效
申请号: | 201420610793.4 | 申请日: | 2014-10-22 |
公开(公告)号: | CN204125567U | 公开(公告)日: | 2015-01-28 |
发明(设计)人: | 吉爱华;王恩民;殷军;龙安泽 | 申请(专利权)人: | 江苏泰源光电科技有限公司 |
主分类号: | C30B29/20 | 分类号: | C30B29/20;C30B15/14 |
代理公司: | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人: | 汪旭东 |
地址: | 223800 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 生长 蓝宝石 晶体 长晶炉 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,属于蓝宝石生产设备技术领域。
背景技术
众所周知,现在都是用热场生长蓝宝石晶体,长晶炉炉筒与盖的密封性直接影响到长出晶体的质量,大盖都是人工放到炉筒上的,稍有不谨,就容易使炉筒和大盖有偏差,炉内2000多度的高温很难保证,要达到蓝宝石晶体生长的温度,就得不停的加热,对电的消耗巨大,能源浪费严重,更重要的是严重影响长出的蓝宝石晶体产品质量,如何使热场密封良好是热场最需要关注的问题。
实用新型内容
针对上述问题,本实用新型提供了一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,其目的在于:采用蓝宝石晶片的热场后,确保了长晶炉密封良好及炉内温度的一致性,节约了能耗,提高了保温效果和晶体成品率,为企业节约成本,提高生产效率,提高了产品质量。
本实用新型的技术解决方案:
一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒、所述炉筒内部设有侧屏氧化锆砖保温层,在侧屏氧化锆砖保温层内侧设置有内保温桶,在所述内保温桶的内腔中设置有钨筒加热器,在钨筒加热器的内腔中设置有钳锅,所述坩埚底部设有托盘,所述托盘底部设有与炉筒连接的坩埚轴,在坩埚上端设有坩埚盖板,钨筒加热器上方和下方分别设有上部保温层和下部保温层,其特征在于:所述炉筒上端设有用于盖住炉筒的大盖、小盖,所述大盖下端表面上设有磁铁一,在炉筒上端表面上与所述磁铁一对应处设有磁铁二,所述磁铁一、磁铁二相互吸合时候,可使大盖紧贴于炉筒上表面与小盖形成紧密配合。
所述磁铁一、磁铁二在炉筒和大盖上设置至少一处。
所述磁铁一为P型磁铁,磁铁二为N型磁铁。
所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。
所述磁铁一为N型磁铁,磁铁二为P型磁铁。
所述N型磁铁设于大盖下端表面外沿处,其下端面与大盖下端面平齐,P型磁铁设于炉筒上端表面外沿处,其上端面与炉筒上端面平齐。
所述侧屏氧化锆砖保温层为三层结构。
所述坩埚轴材质为钨:钼比例为1:1的钨钼合金。
所述大盖材质为锌:镁:铝比例为1:2:3镀锌镁铝冷轧非合金钢。
所述炉筒材质为镍镉铬比例为1:1:1的镍镉铬合金。
所述坩埚材质为钨。
本实用新型的有益效果:
本实用新型通过在炉筒于炉筒大盖之间设有磁感装置,使热场保温性能好、能耗明显降低,气体流向顺畅、利于挥发物排走、成晶稳定,延长设备使用寿命、降低生产成本;减少磁铁退磁和磁流体蒸发、避免磁流体密封漏气掉渣而影响直拉单晶生长,提高密封性能、延长使用寿命;使引晶、等径、转肩等拉晶工艺稳定,提高生产效率和成品率。相对比于现有技术中的单晶炉热场结构,可以减少单晶拉制过程中的热量散失,从而能够降低能耗,可以在保证晶体质量和生产效率的前提下,因此能够有效的降低单晶拉制成本。
附图说明
图1:本实用新型用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场结构原理示意图。
其中:1 炉筒 2 侧屏氧化锆砖保温层 3 内保温桶 4 钨筒加热器 5 坩埚 6 托盘 7 坩埚轴 8 坩埚盖板 9 上部保温层 10 下部保温层 11 大盖 12 小盖 13 磁铁二 14 磁铁一。
具体实施方式
下面结合附图和实施例来对本实用新型做进一步描述:
如图1所示,一种用于生长蓝宝石晶体长晶炉的热场,包括:炉筒1、所述炉筒1内部设有侧屏氧化锆砖保温层2,在侧屏氧化锆砖保温层2内侧设置有内保温桶3,在所述内保温桶3的内腔中设置有钨筒加热器4,在钨筒加热器4的内腔中设置有钳锅5,所述坩埚5底部设有托盘6,所述托盘6底部设有与炉筒1连接的坩埚轴7,在坩埚5上端设有坩埚盖板8,钨筒加热器4上方和下方分别设有上部保温层9和下部保温层10,所述炉筒1上端设有用于盖住炉筒1的大盖11、小盖12,所述大盖11下端表面上设有磁铁一14,在炉筒1上端表面上与所述磁铁一14对应处设有磁铁二13,所述磁铁一14、磁铁二13相互吸合时候,可使大盖11紧贴于炉筒1上表面与小盖12形成紧密配合。
实施例1:
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江苏泰源光电科技有限公司,未经江苏泰源光电科技有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420610793.4/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。