[实用新型]一种新型单晶炉有效
申请号: | 201420613085.6 | 申请日: | 2014-10-21 |
公开(公告)号: | CN204550792U | 公开(公告)日: | 2015-08-12 |
发明(设计)人: | 王东芹;李中心 | 申请(专利权)人: | 镇江大成新能源有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B15/00 |
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地址: | 212006 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 新型 单晶炉 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶炉技术领域,具体涉及一种新型单晶炉。
背景技术
随着光伏市场的不断发展,单晶制造厂商面临较大竞争压力。降低制造成本、提升产品质量已经成为后期单晶生产必不可少的两个方面。目前单晶硅棒制造环节成本最大的根源在于用电量的巨大,导致成本的过高,晶棒制造过程中长晶周期最长,拉晶时需要保持一定温度,单晶炉功耗高低直接影响到用电量的多少。
实用新型内容
本实用新型的目的在于:针对现有技术中存在的上述技术问题,提供一种新型单晶炉。
本实用新型是通过以下技术方案实现的:
一种新型单晶炉,包括炉体以及在炉体的内部设有保温筒、保温盖、石墨坩埚、石英坩埚、导流筒和加热器,所述石墨坩埚的外侧安装有加热器,保温筒位于加热器外,所述导流筒位于石墨坩埚上方,所述石英坩埚底部设有坩埚托,所述坩埚托通过坩埚轴与炉底相固定,所述加热器分别通过加热电极固定在炉体底部,并露出于炉底的下表面,所述炉体内壁与保温筒之间填充有保温毡;所述保温筒上部与保温盖之间设有保温碳毡,所述导流筒的底部伸入石英坩埚内。
作为优选,所述保温毡的厚度为78-92mm。
作为优选,所述保温碳毡的厚度为40mm。
作为优选,所述炉体底部设有软毡。
作为优选,所述导流筒的高度为315mm-330mm,导流筒口径为205mm-235mm。
综上所述,由于采用了上述技术方案,本实用新型的有益效果是:
本实用新型增添了保温毡,且缩短了导流筒的口径,增加了导流筒的高度,减少了上部的散热,从而降低热量的损失,加强了保温效果;另外,由于本实用新型改变了炉腔内部的热场结构,提高了热量的利用率,达到了节能和提高单晶炉使用寿命的目的。
附图说明
本实用新型将通过例子并参照附图的方式说明,其中:
图1为本实用新型的一较佳实施例结构示意图;
图中标记:1-炉体,2-保温筒,3-保温毡,4-坩埚托,5-保温碳毡,6-石墨坩埚,7-石英坩埚,8-加热器,9-加热电极,10-坩埚轴,11-导流筒。
具体实施方式
现在结合附图对本实用新型作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图,仅以示意方式说明本实用新型的基本结构,因此其仅显示与本实用新型有关的构成。
如图1,一种新型单晶炉,包括炉体1以及在炉体1的内部设有保温筒2、保温盖、石墨坩埚6、石英坩埚7、导流筒11和加热器8,所述石墨坩埚6的外侧安装有加热器8,保温筒2位于加热器8外,所述导流筒11位于石墨坩埚6上方,所述石英坩埚7底部设有坩埚托4,所述坩埚托4通过坩埚轴10与炉底相固定,所述加热器8分别通过加热电极固定在炉体1底部,并露出于炉底的下表面,加热电极露出于炉底,便于进行接线。
所述炉体1内壁与保温筒2之间填充有保温毡3,保温筒2包括上保温筒、中保温筒和下保温筒,上保温筒的保温毡3厚度为80mm,中保温筒的的保温毡3厚度为90mm,下保温筒的的保温毡3厚度为90mm。
所述保温筒2上部与保温盖之间设有保温碳毡,保温碳毡的厚度为40mm,外径跟直接接触到炉壁,所述炉体1底部设有软毡。
所述导流筒11的底部伸入石英坩埚7内,所述导流筒11的高度为315mm-330mm,导流筒11口径为205mm-235mm。导流筒11的下底面最高可以与石英坩埚7顶部齐平,避免了多晶硅装料时,导流筒11对坩埚空间的占用,增加了坩埚中可容纳的多晶材料体积,提高了坩埚的多晶材料装料量。
本实用新型采用本实施例所述的单晶炉热场进行实验与现有技术中的单晶炉热场进行对比,平均等径功率40kw,相比较目前车间炉台平均等径功率75kw(使用新型碳毡后,普通碳毡功率达到72kw),降低了25kw,这样相当于整炉功率下降了35kw,目前拉制一炉最低用时为50h,平均一月可以拉制10炉次,这样大大节省了用电量,达到节能的效果。
以上述依据本实用新型的理想实施例为启示,通过上述的说明内容,相关工作人员完全可以在不偏离本项实用新型技术思想的范围内,进行多样的变更以及修改。本项实用新型的技术性范围并不局限于说明书上的内容,必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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