[实用新型]一种低功耗的单晶炉

权利要求书

1.一种低功耗的单晶炉，包括炉底、炉壁、保温筒、坩埚、导流筒、保温盖和加热器，所述坩埚的外侧安装有加热器，保温筒位于加热器外，所述导流筒位于坩埚上方，所述坩埚通过中轴连杆与炉底相固定，所述保温盖位于保温筒和导流筒上方，其特征在于，所述加热器分别通过石墨电极固定在炉底，所述保温盖与保温筒和导流筒之间设有保温盖下碳毡；所述导流筒包括内导流筒和外导流筒，所述内导流筒和外导流筒之间设有软毡，所述炉底设有软毡保温层，所述保温筒为侧壁碳毡，内导流筒与保温盖之间的夹角为75°-80°。

2.根据权利要求1所述的一种低功耗的单晶炉，其特征在于，所述保温筒包括上保温筒、中保温筒和下保温筒。

3.根据权利要求1所述的一种低功耗的单晶炉，其特征在于，所述内导流筒与保温盖之间的夹角优选为77.45°。

4.根据权利要求1所述的一种低功耗的单晶炉，其特征在于，所述侧壁碳毡的厚度为80-90mm。