[实用新型]一种剥离装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种剥离装置。

背景技术

石墨烯是碳原子按六角结构紧密堆积成的单原子层二维晶体，载流子的本征迁移率可达到2×10⁵cm/(V·S)，这种优异的电学性质使其在高频电子器件中有着巨大的应用价值。为了制备石墨烯电子器件，首要的问题是制备出大尺寸、具有优异电学性能的石墨烯薄膜，并转移至合适的目标基底上。目前大尺寸石墨烯薄膜的制备方法主要有包括以下几种：(1)碳化硅(SiC)外延生长法，虽可获得高质量大面积的单层石墨烯，但是所使用的SiC的价格昂贵，生长条件苛刻，且生产出的石墨烯难于转移；(2)化学气相沉积法(Chemical Vapor Deposition，CVD)可以在金属衬底上生长大面积的单层或多层石墨烯薄膜，所得石墨烯质量好、易于转移，是目前制备石墨烯薄膜的常用方法，被广泛用于制备石墨烯晶体管和透明导电薄膜。

CVD法制备的石墨烯需要经过转移才能从金属衬底到目标基体。现有石墨烯转移方法大多数使用腐蚀方法去除基底，成本较高、耗时长，且基底回收难而且会对环境造成一定的污染。目前没有可实现大面积、大批量、连续化剥离石墨烯生长金属衬底的装置。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种成本低、工作效率高、污染小的剥离装置，实现大面积、大批量、连续化、自动化剥离石墨烯生长金属衬底。

实现本实用新型目的的技术方案是：一种剥离装置，包括机架，以及安装在机架上的传动机构和剥离机构；所述剥离机构包括基座、旋转马达、旋转轴、旋转座、升降马达、丝杆、锁紧气缸、夹具、压紧滚轮和压紧驱动装置；所述旋转马达固定在基座上，并驱动旋转轴转动；所述旋转座固定在旋转轴上；所述升降马达固定在旋转座上，并驱动丝杆转动；所述锁紧气缸的缸体与丝杆螺纹连接，并与旋转轴滑动连接；所述夹具的一部分固定在锁紧气缸的缸体上，另一部分固定在锁紧气缸的活塞杆上；所述压紧滚轮和夹具按照样品的传动方向依次设置在传动机构上方。

所述传动机构包括传动马达、传动轴、锥齿轮、组合齿轮、直齿圆柱齿轮、传动辊和支撑辊；所述传动轴的一端固定在传动马达的输出端上；所述锥齿轮、组合齿轮、直齿圆柱齿轮和传动辊为一组传动输出组件，该输出组件设有多组；所述每组输出组件中的锥齿轮均固定在传动轴上；所述组合齿轮的一端设有与锥齿轮啮合的锥齿，另一端设有与直齿圆柱齿轮啮合的直齿；所述直齿圆柱齿轮固定在传动辊的一端；所述每组输出组件中的传动辊的正下方均设有一根支撑辊。

所述传动机构的入口部分和出口部分只设置支撑辊。

所述剥离机构还包括感应器；所述感应器设置在传动机构下方。

采用了上述技术方案，本实用新型具有以下的有益效果：(1)本实用新型通过压紧滚轮压住金属衬底，使其一端翘起，夹具夹住金属衬底翘起的一端，然后匀速向上提拉，从而使金属衬底的剥离，上料时一次可以上料多排、每排多个样品，从而实现大面积、大批量、连续化、自动化剥离石墨烯生长金属衬底；同时本实用新型结构简单、成本低、工作效率高、污染小。

(2)本实用新型的传动机构通过一根传动轴驱动所有传动辊转动，结构简单，传动辊实现了同步传动，使样品传送更加稳定。

(3)本实用新型的传动机构的上料段的入口部分以及下料段的出口部分只设置支撑辊，这种结构既便于上料、下料，又节约了成本。

(4)本实用新型的剥离机构的感应器能够感应样品上的金属衬底，使金属衬底的剥离更加精确。

附图说明

为了使本实用新型的内容更容易被清楚地理解，下面根据具体实施例并结合附图，对本实用新型作进一步详细的说明，其中

图1为本实用新型的实施例1的结构示意图。

图2为本实用新型的实施例1的剥离机构的结构示意图，图中未示出压紧滚轮、压紧驱动装置和感应器。

图3为本实用新型的实施例1的剥离机构的感应器安装位置示意图。

图4为本实用新型的实施例2的传动机构的传动辊和支撑辊的位置示意图。

附图中的标号为：

样品1、金属衬底11、传动机构2、传动辊21、支撑辊22、剥离机构3、基座31、旋转马达32、旋转轴33、旋转座34、升降马达35、丝杆36、锁紧气缸37、夹具38、感应器39。

具体实施方式

(实施例1)

见图1至图3，本实施例的剥离装置包括机架，以及安装在机架上的传动机构2和剥离机构3。