[实用新型]一种压气机叶片涂层的表面改性设备

权利要求书

1.一种压气机叶片涂层的表面改性设备，对一叶片进行覆膜，其特征在于，包括：

氮气源；

真空腔室，所述氮气源连接于所述真空腔室外，所述叶片设置于所述真空腔室内，所述真空腔室包括侧壁和底壁和顶壁；

第一弧源，连接于所述侧壁上；

第二弧源，连接于所述侧壁上；

MEVVA离子源，连接于所述侧壁上；以及

考夫曼离子源，连接于所述底壁上；

其中，所述第一弧源采用铬铝合金靶，所述第二弧源采用钽靶，所述MEVVA离子源采用铬阴极，所述考夫曼离子源对所述叶片表面进行清洗，所述MEVVA离子源、所述第一弧源、所述第二弧源和所述氮气源对所述叶片表面进行反复镀膜。

2.根据权利要求1所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述真空腔室包括工作台，所述工作台设置于所述真空腔室内部，所述叶片设置于所述工作台。

3.根据权利要求2所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述真空腔室包括顶壁，所述工作台连接于所述顶壁，所述工作台具有旋转装置。

4.根据权利要求3所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述侧壁包括左侧壁、右侧壁和后侧壁，所述第一弧源连接于所述左侧壁，所述第二弧源连接于所述右侧壁，所述MEVVA离子源连接于所述后侧壁。

5.根据权利要求4所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述第一弧源与所述左侧壁的接口的中心线、所述第二弧源与所述右侧壁的接口的中心线以及所述MEVVA离子源与所述后侧壁的接口的中心线处于同一水平面上。

6.根据权利要求1所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述第一弧源与所述第二弧源相对所述真空腔室的中垂线对称设置。

7.根据权利要求1所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述第一弧源为带有90°磁过滤管道的磁过滤弧源。

8.根据权利要求1所述的压气机叶片涂层的表面改性设备，其特征在于，所述第二弧源为带有90°磁过滤管道的磁过滤弧源。