[实用新型]激活能测试装置

权利要求书

1.一种激活能测试装置，用于太阳能电池微晶硅薄膜的氧污染测试，其特征在于，包括：

容腔（2），用以形成气密闭空间；

真空系统，连接所述容腔，用于容腔的抽真空；

测试平台，位于所述容腔（2）内，用于定位待测样品；

取样电极，位于所述容腔内，配有一对，匹配定位在待测样品的选定位置；以及

温控装置，辅配于所述容腔（2），用于容腔（2）的温度控制。

2.根据权利要求1所述的激活能测试装置，其特征在于，所述容腔（2）构造为柱形容腔，由一个柱面结构的桶壁（1）和气密封地配合于桶壁（1）上下端的各一个法兰盘形成。

3.根据权利要求2所述的激活能测试装置，其特征在于，位于桶壁（1）下端的法兰盘预制有用于内部设备与外部设备连接的过孔。

4.根据权利要求2或3所述的激活能测试装置，其特征在于，位于桶壁（1）上端的法兰盘开有窗口，相应地，还配有与窗口气密封配合的窗盖（5）。

5.根据权利要求2所述的激活能测试装置，其特征在于，所述测试平台通过主支柱（9）支撑在位于桶壁（1）下端的法兰盘的上方；

相应地，所述温控装置配有加热装置和冷却装置，其中加热装置构成为加热管（11）而配置在测试平台的内部，冷却装置构成为冷却管（10）而配置在测试平台下侧。

6.根据权利要求5所述的激活能测试装置，其特征在于，所述加热装置为基于闭环控制的加热装置，从而该加热装置包括用于测量测试平台温度的采集装置、输入连接采集装置的温控仪和输出控制装置，以及位于输出控制装置下级的加热元件。

7.根据权利要求6所述的激活能测试装置，其特征在于，所述输出控制装置包括用以接入电源的双向可控硅，以及连接于双向可控硅下级的整流电路。

8.根据权利要求6或7所述的激活能测试装置，其特征在于，所述加热元件为电热管，所述采集装置为热电偶。

9.根据权利要求1所述的激活能测试装置，其特征在于，所述真空系统包括：

真空泵；

真空管路，用于真空泵与所述容腔（2）的连接；

放气阀（18），接于所述真空管路，用于真空管路的通断控制；

真空计，连接于所述真空管路，用于真空管路的真空度测量。

10.根据权利要求9所述的激活能测试装置，其特征在于，所述真空计通过一真空规管接入到所述真空管路。