[实用新型]用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备

权利要求书

1.用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：包括真空炉体(1)、气体供给控制系统(15)和真空与尾气处理系统；其中，真空炉体(1)的周向及顶端由外至内依次为炉外保温材料层、外炉壳、耐火材料衬里(2)和加热器(3)，真空炉体(1)内设置有不锈钢内胆(4)，不锈钢内胆(4)通过设置在真空炉体(1)底端的反应室底座(10)密封至真空炉体(1)内，不锈钢内胆(4)的腔室分为涂层反应室和尾气排放区，涂层反应室配置有与气体供给控制系统(15)相连接的中心处输气管道(5a)、若干Ar气输气管道(5b)，中心处输气管道(5a)的周向设置有若干支架(8)，每个支架(8)上均设置有一个导气座(7)，每个导气座(7)均通过水平导管(6)与中心处输气管道(5a)相连通，每个导气座(7)的底端为多孔气体分散板(32)，多孔气体分散板(32)内放置了若干Al-Cr合金颗粒(33)，叶片(S)的叶根设置在导气座(7)的顶端，且叶片(S)的叶根完全掩埋在其周向设置的耐高温惰性填料(34)中；

气体供给控制系统(15)分别设置有Ar气出口、反应气体S1出口和气态反应物S2出口，Ar气出口分别与若干Ar气输气管道(5b)的入口相连，反应气体S1出口与中心处输气管道(5a)的入口相连；

反应室底座(10)上设置有排气管道(11)，排气管道(11)通过水平尾气导管(25)与真空与尾气处理系统中的碱液循环真空泵(26)相连，电动机(27)用于为碱液循环真空泵(26)提供动力，碱液循环真空泵(26)上设置有排气管(28)，且碱液循环真空泵(26)分别通过一级导管(29)和二级导管(30)与NaOH溶液池相连；气态反应物S2出口与水平尾气导管(25)相连。

2.根据权利要求1所述的用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：不锈钢内胆(4)的材质选用牌号为1Cr25Ni20Si2的不锈钢。

3.根据权利要求1所述的用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：真空炉体(1)和反应室底座(10)的底部通过若干地面支撑(B)支撑。

4.根据权利要求1所述的用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：气体供给控制系统(15)包括Ar气高压储气罐(16a)、气态反应物S2高压储气罐(16b)、H₂气高压储气罐(16c)以及HCl高压储气罐(16d)；其中，Ar气高压储气罐(16a)的Ar气出口设置有气体减压阀(17)，该气体减压阀(17)的出口通过若干数显流量调节阀(19)与若干Ar气输气管道(5b)的入口相连；气态反应物S2高压储气罐(16b)的气态反应物S2出口依次通过气体减压阀(17)、质量流量计(18)与水平尾气导管(25)相连；H₂气高压储气罐(16c)和HCl高压储气罐(16d)分别通过气体减压阀(17)、质量流量计(18)进入混合罐(20)，混合罐(20)的出口通过电磁开关(21)连接低温金属卤化物生成器(22)的入口，低温金属卤化物生成器(22)内设置有Al金属颗粒床(23)，低温金属卤化物生成器(22)的出口通过数显流量调节阀(19)连接反应气体S1入口。

5.根据权利要求1所述的用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：排气管道(11)中心处安装有轴向燃气预热器(12)，用于防止尾气在进入水平尾气导管(25)前发生冷凝。

6.根据权利要求1所述的用于制备燃气透平叶片内表面涂层的化学气相沉积设备，其特征在于：反应室底座(10)与真空炉体(1)之间通过第一O形密封圈(13)和第二O形密封圈(14)密封。