[实用新型]便携式真空校准装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种真空校准装置，特别涉及一种便携式真空校准装置。 

背景技术

通常情况下，对真空计的校准都是在实验室里进行的，而在使用现场只能对一部分国产指针式真空计的仪表部分电参数进行校准。由于真空计所用的真空测量规管(以下称为真空规)的灵敏度各不相同，加上使用中存在着不同程度的污染，会造成其灵敏度下降，而且如果无法对真空规和真空计的仪表部分进行整体校准，就无法保证真空计测量结果的准确性。而且如果在科研单位或企业进行现场或在线校验，不仅可以使校准条件和使用条件基本相同，不仅可以提高校准精度，而且避免了因为停止工作系统送往实验室校准的经济损失和时间浪费，因此在科研、生产制造中提出了现场或在线真空校准的需求。而进行现场或在线校验时，由于现场校验环境中可能存在有大量的水蒸气、腐蚀性气体等有害成分，在校验过程中会被吸入真空泵，然后进入工作液内，进而会对真空泵的部件产生腐蚀作用，降低真空泵的使用寿命。而且现有便携式真空校准装置，轻便化、小型化后校准的精度受轻便化和小型化的影响而降低。 

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型在于提供一种便携式真空校准装置，可以保证校准精度不受设备轻便化和小型化影响，同时降低实际校验环境的气体中有害成分对真空泵的危害，延长真空泵的使用寿命。 

为解决上述问题，本实用新型采用如下技术方案：便携式真空校准装置，包括箱体、真空校准系统和真空校准抽气系统，所述真空校准系统设在所述箱体外，所述箱体内设有真空校准抽气系统；所述真空校准抽气系统包括机械泵、电磁放气阀V₁、挡油阱、电阻规、电磁隔断阀V₂、分子泵、手动隔断阀V₃、真空校准系统接入端、手动隔断 阀V₄和微调阀V₅，所述机械泵、所述电磁放气阀V₁、所述挡油阱、所述电阻规、所述电磁隔断阀V₂、所述分子泵、所述手动隔断阀V₃和所述真空校准系统接入端通过导气管依次连接导通，位于所述手动隔断阀V₃和所述真空校准系统之间的导气管与位于所述挡油阱与所述电阻规之间的导气管经过所述手动隔断阀V₄通过导气管连接导通，位于所述真空校准系统接入端与所述手动隔断阀V₄之间的导气管与氮气存储装置经过所述微调阀V₅通过导气管连接导通；所述真空校准抽气系统与所述真空校准系统通过所述真空校准系统接入端连接导通。 

上述便携式真空校准装置，所述真空校准系统包括真空室、1000Torr标准薄膜电容真空规G₃、1Torr标准薄膜电容真空规G₄和真空校准接入端，所述1000Torr标准薄膜电容真空规G₃与所述真空室连接导通，所述1Torr标准薄膜电容真空规G₄通过导气管经过手动隔断阀V₈与所述真空室连接导通，所述真空室通过导气管经过手动隔断阀V₇与所述真空校准接入端连接导通，所述真空室与所述真空校准系统接入端通过导气管连接导通。 

上述便携式真空校准装置，所述真空校准接入端设有盲板。 

上述便携式真空校准装置，还包括复合真空计。 

上述便携式真空校准装置，所述电阻规上设有一个所述复合真空计。 

上述便携式真空校准装置，所述分子泵配有加热装置；所述挡油阱配有加热装置。 

上述便携式真空校准装置，所述箱体箱壁外壁上设有控制面板。 

上述便携式真空校准装置，所述控制面板设有电源开关和显示屏，所述电源开关包括机械泵电源开关、电磁放气阀V₁电源开关、电磁隔断阀V₂电源开关、分子泵电源开关、挡油阱加热装置电源开关、分子泵加热装置电源开关和总电源开关。 

上述便携式真空校准装置，所述氮气存储装置为氮气罐。 

上述便携式真空校准装置，所述机械泵为旋片式真空泵。 

本实用新型的有益效果是： 

1.本实用新型在轻便化和小型化处理的过程中，保留了校准系统的主要部件，仅仅是去掉部分管路和阀门，因而本实用新型的精度在保证其真空校准功能基础上，结构得到了简化，但精度保持不变。