[实用新型]N型腔高功率单频紫外激光器

权利要求书

1.N型腔的高功率单频紫外激光器，包括半导体二极管泵浦源、光学准直系统、激光晶体、Q开关、三倍频非线性光学晶体、二倍频非线性光学晶体和四个平面镜，用外壳将整个装置照在基板上；其特征在于：第一平面镜、激光晶体、Q开关、标准具、全波片、第二平面镜、第三平面镜和第四平面镜构成基频光谐振腔；由第三平面镜、二倍频非线性光学晶体和第四平面镜构成二倍频光谐振腔；半导体二极管泵浦源输出808nm泵浦光经过第一非球面透镜和第二非球面透镜组成的非球面光学准直系统以及第一平面镜耦合到激光晶体内，产生的1064nm激光经过由第一平面镜、标准具、全波片、第二平面镜、第三平面镜和第四平面镜构成的谐振腔内振荡并由Q开关调制，调制的1064nm基频光两次经过二倍频非线性光学晶体将1064nm基频光转换为532nm倍频光，未二次倍频转换的剩余1064nm基频光与532nm倍频光进行和频，得到的355nm紫外激光从三倍频非线性光学晶体布儒斯特角切割的一面输出。

2.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述激光晶体为Nd:YVO4，其晶体尺寸为3×3×10mm³，晶体掺杂浓度为0.5%。

3.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述激光器腔内的三倍频非线性光学晶体端面与光轴成布儒斯特角。

4.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述的基频光谐振腔激光晶体与第三平面镜之间插入标准具和全波片，垂直放置的石英标准具厚度为0.6mm，表面基频光反射率为85%，温度控制在35摄氏度，此时只有某一特定频率的纵模能够振荡，其中全波片先是进行粗选模，标准具再次进行细选模，最终保证355nm紫外激光的单频稳定运转。

5.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述的基频光谐振腔元件是平面镜，谐振元件的数量是四个，激光输出方式是脉冲输出。

6.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述的基频光谐振腔中第一平面镜的外侧镀有808nm的增透膜，内侧镀有808nm的增透膜和1064nm的高反膜；Q开关、激光晶体、标准具和全波片两端面均镀有1064nm的增透膜；第二平面镜的内侧镀有1064nm的高反膜，第三平面镜和第四平面镜的内侧镀有1064nm和532nm的高反膜。

7.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述的二倍频光谐振腔中的二倍频非线性光学晶体两端均镀有1064nm和532nm的增透膜。

8.根据权利要求1所述的N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述二倍频非线性倍频晶体可采用临界相位匹配或非临界相位匹配，采用双折射相位匹配或周期极化材料的准相位匹配，二倍频非线性光学晶体的类型选自LBO、KTP，周期极化晶体PPLN、MgO:PPLN、PPSLT、PPLT、PPKTP中的一种。

9.根据权利要求1所述的采用N型腔的高功率单频紫外激光器，其特征在于所述三倍频非线性光学晶体采用临界相位匹配或非临界相位匹配，三倍频非线性光学晶体的类型可选自LBO、BBO、BIBO、CLBO、PPLN、MgO:PPLN、PPSLT、PPLT、PPKTP中的一种，所述三倍频非线性光学晶体的形状为长方体。