[实用新型]一种单电极低温等离子体发生设备有效
| 申请号： | 201420628414.4 | 申请日： | 2014-10-28 |
| 公开（公告）号： | CN204231737U | 公开（公告）日： | 2015-03-25 |
| 发明（设计）人： | 万京林;万良淏;万良庆 | 申请（专利权）人： | 南京苏曼等离子科技有限公司 |
| 主分类号： | H05H1/24 | 分类号： | H05H1/24 |
| 代理公司： | 南京钟山专利代理有限公司 32252 | 代理人： | 戴朝荣 |
| 地址： | 211199 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 电极 低温 等离子体 发生 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种单电极低温等离子体发生设备，包括顺次相连接的高频电源模块、匹配模块和高频升压模块，其特征在于：所述高频升压模块的输出端还连接有一个金属球电极，所述金属球电极经过线电极与另一个金属球电极相连接。
2.如权利要求1所述的一种单电极低温等离子体发生设备，其特征在于：所述线电极的长度范围为50mm-5000mm，直径范围为0.1mm-1.0mm。
3.如权利要求2所述的一种单电极低温等离子体发生设备，其特征在于：所述金属球电极的直径范围为20mm-100mm。
4.如权利要求1所述的一种单电极低温等离子体发生设备，其特征在于：所述高频电源模块为高频正弦波电源，其频率范围在20KHz-200KHz。
5.如权利要求1所述的一种单电极低温等离子体发生设备，其特征在于：所述匹配模块为匹配电感。
6.如权利要求5所述的一种单电极低温等离子体发生设备，其特征在于：所述匹配电感的电感值范围为1mH-20mH。
7.如权利要求1所述的一种单电极低温等离子体发生设备，其特征在于：所述线电极上加载的高压为正弦高压，正弦高压设定的阈值为10000V～30000 V。
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