[实用新型]一种清针片有效
| 申请号： | 201420636100.9 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN204243009U | 公开（公告）日： | 2015-04-01 |
| 发明（设计）人： | 黄炜 | 申请（专利权）人： | 武汉新芯集成电路制造有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 430205 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清针片 | ||
1.一种清针片，包括空白硅片和粘贴在所述空白硅片上的清针砂纸(5)，其特征在于：所述清针砂纸(5)的不同区域上设有尺寸相同的至少两个明暗对比图案层，所述明暗对比图案层上均印有明暗对比图案，其中一个明暗对比图案层设置在所述清针砂纸的中心区域。
2.根据权利要求1所述的清针片，其特征在于：所述空白硅片为圆形空白硅片，所述清针砂纸(5)和所述空白硅片的尺寸相同。
3.根据权利要求1所述的清针片，其特征在于：所述任一明暗对比图案层上的明暗对比图案均为白底黑色图案或者黑底白色图案。
4.根据权利要求1所述的清针片，其特征在于：所述明暗对比图案层的材质均和所述清针砂纸的材质相同。
5.根据权利要求1所述的清针片，其特征在于：所述明暗对比图案层的厚度与所述清针砂纸的厚度差值均小于10um。
6.根据权利要求1所述的清针片，其特征在于：所述任一明暗对比图案的尺寸范围为30um*30um～100um*100um。
7.根据权利要求1～6任一所述的清针片，其特征在于：所述清针砂纸为圆形，所述清针砂纸(5)的圆心处设有第一明暗对比图案(6)；所述清针砂纸(5)的其他区域至少还设有一个明暗对比图案组，所述明暗对比图案组包括至少一个第二明暗对比图案(7)，所述第二明暗对比图案(7)设置在所述清针砂纸(5)沿水平方向的直径或/和沿垂直方向的直径上；所述第一明暗对比图案(6)和所述第二明暗对比图案(7)的尺寸均相同；当所述明暗对比图案组包括至少两个第二明暗对比图案时，所述任意两个第二明暗对比图案距离所述清针砂纸圆心处的距离相等。
8.根据权利要求7所述的清针片，其特征在于：所述清针砂纸(5)的 圆心处设有第一明暗对比图案(6)；所述清针砂纸(5)上还设有一组第二明暗对比图案，所述第二明暗对比图案为四个，分别设置在清针砂纸沿水平方向的直径和沿垂直方向的直径上，且四个第二明暗对比图案距离所述清针砂纸圆心的距离相等；所述第一明暗对比图案和所述第二明暗对比图案的尺寸均相同。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
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