[实用新型]一种显微镜物镜

说明书

技术领域

本发明属于光学领域，更具体地说，涉及一种显微镜物镜。

背景技术

显微镜已成为很多行业研究必不可少的高科技设备，在一些精密微型领域广泛应用，特别在医疗和科研等中具有不可替代的作用。

数值孔径(NA)与显微镜的其它各个光学参数都有密切关系，一般希望它越大越好，因此提高数值孔径(NA)的大小也是科技发展的需求；目前世界上已有各类显微镜物镜，但是目前技术上能达到的数值孔径(NA)一般保持在0.65左右，能够达到更大数值孔径(NA)的也只有少数；随着科技的发展，目前很多领域开始对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求增大，因此提高显微镜物镜的数值孔径(NA)具有必要的意义。

中国专利申请号：201280008900.X，公开了一份名称为物镜及光拾取装置的专利，其中所述的物镜用于光拾取，所述光拾取装置至少具有射出第一波长λ1(390nm<λ1<420nm)的第一光束的第一光源和物镜，通过所述物镜将从所述第一光源射出的所述第一波长λ1的第一光束聚光在第一光盘的信息记录面上，由此进行信息的记录和/或再生，所述物镜具有：第一光学面，其形成于所述第一光源侧；第二光学面，其面向所述第一光学面而形成，且曲率半径大于所述第一光学面；端面，其是从光轴方向观察时位于所述第二光学面外侧且与光轴大致垂直的平面，所述物镜的像侧数值孔径(NA)为0.7以上、0.9以下。尽管现对于现有的技术其数值孔径有所提高，但是其数值孔径仍然不能满足一些领域的需求，同时制造成本高。

中国专利号：201410076527.2，专利名称为：一种大视场高数值孔径的i-line光刻机投影物镜，该物镜共轭距L＝1500mm，镜片分为四组独立设计再整合优化；从入射方向开始依次设置有第一透镜组，编号G1，镜片编号L1～L8，共8枚镜片，其中第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；第二透镜组编号G2，镜片编号L9～L12，共4枚镜片、光栏(STOP)，其中第2枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；第三透镜组编号G3，镜片编号L13～L17，共5枚镜片；其中第3枚和第5枚镜片朝向物方的入射面为14阶非球面；以及第四透镜组编号G4，镜片编号L18～L25，共8枚镜片；其中第8枚朝向物方的入射面为14阶非球面；四个透镜组总共25枚镜片关于光栏对称构成一个双远心光路，其中有5个面采用了低阶非球面以平衡像差；四组镜头组成双远心结构，多个非球面的使用能减少镜片数量并有效校正多种像差，尤其是大视场下的畸变和场曲。尽管采用了双远心、25片4组结构，其中使用了5个低阶非球面来平衡像差，但物镜的像方有效视场为132×132mm，像方数值孔径为0.17。因此多领域对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求，提高显微镜物镜的数值孔径(NA)具有必要的意义。

发明内容

本发明的目的是针对多领域对更大数值孔径(NA)的显微镜物镜需求，提供一种可实现高数值孔径(NA)以满足目前各领域需要的显微镜物镜。

为了解决上述问题，本发明所采用的技术方案如下：一种显微镜物镜，包括：同光轴设置的十三片球面透镜，从物方至像方依次排列，从物方至像方的十三片球面透镜分别为：第一透镜、第二透镜、第三透镜、第四透镜、第五透镜、第六透镜、第七透镜、第八透镜、第九透镜、第十透镜、第十一透镜、第十二透镜和第十三透镜；

第一透镜、第二透镜和第三透镜组合为胶合透镜组，其中第一透镜面向物方为平面，面向像方为凸面；第二透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；第三透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面，第一透镜面向像方的凸面与第二透镜面向物方的凹面胶合在一起，第二透镜面向像方的凸面与第三透镜面向物方的凹面胶合在一起；

第四透镜面向物方为凹面，面向像方为凸面；

第五透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；

第六透镜和第七透镜组合为胶合透镜组，其中第六透镜面向物方为平面，面向像方为凹面；第七透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面，第六透镜面向像方的凹面与第七透镜面向物方的凸面胶合在一起；

第八透镜和第九透镜组合为胶合透镜组，其中第八透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第九透镜面向物方为凹面，面向像方为平面，第八透镜面向像方的凸面与第九透镜面向物方的凹面胶合在一起；

第十透镜、第十一透镜组合为胶合透镜组，其中第十透镜面向物方为凸面，面向像方为凸面；第十一透镜面向物方为凹面，面向像方为凹面，第十透镜面向像方的凸面与第十一透镜面向物方的凹面胶合在一起；