[实用新型]三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台

权利要求书

1.一种三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：包括处于平台中心的固定的支架(1)，与所述支架(1)连接的三块柔性体(2)呈正三角形分布且处于同一水平面上，每块柔性体(2)包含一段波纹型薄片，三块柔性体(2)的一端通过螺钉与所述的支架(1)相连，另一端通过螺钉与承载台(3)相连接。

2.根据权利要求1所述的三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述支架(1)包括外部固定物体相连接的底座(11)、向上凸出的设置在底座(11)中间的凸台(12)。

3.根据权利要求2所述的三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述柔性体(2)包括具有弹性的波纹型薄片(22)、分别设置于波纹型薄片(22)两端的支架连接板(21)和承载台连接板(23)，所述承载台连接板(23)通过螺钉与承载台(3)相连接，所述支架连接板(21)通过螺钉与所述的支架(1)的凸台(12)相连接。

4.根据权利要求2所述的三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述波纹型薄片(22)横截面呈周期性波浪形，由若干直片段(221)和半环形段(222)交替相连而成。

5.根据权利要求3所述的三段波纹型薄片对称分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：三块柔性体(2)均为一体式机构。

6.根据权利要求1所述的三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：三块柔性体(2)的结构和尺寸完全一样。

7.根据权利要求1至6任一项所述的三段波纹型薄片呈正三角形分布的大行程高精度定位平台，其特征在于：所述承载台(3)呈多边形框式结构，由三块大小相同的方槽形边框沿正三角形布局首尾相连而成。