[实用新型]一种TFT玻璃铂金欠点消除装置有效
| 申请号： | 201420644363.4 | 申请日： | 2014-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN204454852U | 公开（公告）日： | 2015-07-08 |
| 发明（设计）人： | 尹向波;张军锋 | 申请（专利权）人： | 陕西彩虹电子玻璃有限公司 |
| 主分类号： | C03B5/18 | 分类号： | C03B5/18 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 陆万寿 |
| 地址： | 712021*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 tft 玻璃 铂金 消除 装置 | ||
1.一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，包括氮气系统、净化空气系统、混合气体调节系统(5)以及开设有混合气体进、出口的铂金管道(10)，所述氮气系统包括依次连接的氮气源(1)、第一调压装置(3)、第一加热装置(4)，所述净化空气系统包括依次连接的净化空气源(2)、第二调压装置(6)和第二加热装置(4)，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(4)的气体出口分别与混合气体调节系统(5)的气体入口相连接，所述混合气体调节系统(5)的气体出口与铂金管道(10)的混合气体进口相连接。
2.根据权利要求1所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述混合气体调节系统(5)包括相互连接的第三调压装置和第三加热装置，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(4)的气体出口分别与第三调压装置的气体入口相连接，所述第三加热装置的气体出口与铂金管道(10)的混合气体进口相连接。
3.根据权利要求2所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述混合气体调节系统(5)与铂金管道(10)的混合气体进口之间的管路上还设置有压力检测装置(8)和温度检测装置(9)。
4.根据权利要求3所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述压力检测装置采用压力传感器(8)，所述温度检测装置(9)采用温度传感器。
5.根据权利要求2所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述第三调压装置采用压缩机，所述第三加热装置采用电加热器。
6.根据权利要求2所述的一种TFT玻璃铂金欠点消除装置，其特征在于，所述第一加热装置(4)、第二加热装置(7)均采用电加热器，所述第一调压装置(3)、第二调压装置(6)均采用减压阀。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西彩虹电子玻璃有限公司，未经陕西彩虹电子玻璃有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201420644363.4/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
