[实用新型]管式PECVD石墨舟装卸片系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种石墨舟装卸片系统，尤其是涉及一种用于管式PECVD中对石墨舟进行自动化高效装卸片的系统，属于太能能光伏生产设备技术领域。

背景技术

目前，在晶体硅太阳能电池生产过程中，需在硅片表面通过PECVD（Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition）设备制备一层氮化硅减反射膜，现有的管式PECVD 在长膜工序完成后，需人工拉出石墨舟，从石墨舟中取出硅片装入空花篮中（即硅片卸料过程）；随后空石墨舟再次进入PECVD炉体前，需重新贴装已完成二次清洗的无反射膜硅片（即硅片上料过程）；因石墨舟重、石墨舟电极片夹缝窄，所以常规的人工搬运石墨舟及人工装卸片劳动强度大，生产效率提不上，同时碎片率较高，使得生产成本高；

为此，“中国电子科技集团公司第四十八研究所”于2013年11月22日提出了专利申请号为201310592633.1的“一种用于管式PECVD 的石墨舟自动装卸片系统”，其利用机械方式进行卸料和上料，但是其硅片抓取移载机构采用六轴机械人进行，由于六轴机械人结构复杂，且国内无法自主生产六轴机械人，因此其成本高昂；且六轴机械人长时间使用后容易在空间定位上产生误差，使得在抓取过程中对硅片造成损伤；并且受制于六轴机械人的抓取方式，其一次仅能抓取20片硅片，因此其效率还是无法满足大规模生产的需求；且上述常规系统中所用的花篮节距为4.76mm的标准节距，而石墨舟舟片的间距为13.5mm，因此需要采用专门的倒片机对其节距进行整理，从而进一步影响了生产的效率。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种定位精确且生产效率高的管式PECVD石墨舟装卸片系统。

本实用新型的目的是这样实现的：一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，所述系统包含有：

石墨舟移送机构，运载石墨舟进行水平移动；

硅片上料机构，将代加工硅片提取出花篮；

硅片卸料机构，对加工好的硅片进行翻转卸料；

硅片抓取移载机构，对硅片进行吸附并以直线运动进行移载；

石墨舟装卸机构，对石墨舟进行装卸。

本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，所述石墨舟移送机构包含有安装于支架上的轨道槽板，所述轨道槽板内沿其长度方向安装有两条直线导轨，所述直线导轨的滑块上安装有移送载板，石墨舟安放于上述移送载板上。

本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，所述硅片抓取移载机构包含有沿龙门架横梁长度方向设置的两组抓手用直线导轨，所述抓手用直线导轨的滑块与抓手滑板相连接，所述抓手滑板上竖向滑动连接有一“L”形升降板；所述“L”形升降板的底板上竖向安装有一旋转电机，该旋转电机的转轴上连接有一抓手吸盘架，所述抓手吸盘架底部安装有三组吸盘。

本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，每组吸盘设置有20个陶瓷吸盘。

本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，石墨舟移送机构的一侧安装有硅片上料机构；所述硅片上料机构包含有上料底板，所述上料底板通过直线导轨水平滑移连接有上料支座，且上料支座的移动方向与石墨舟移送机构上的石墨舟移动方向相垂直；所述上料支座上通过直线导轨垂直滑动连接有上料托架，所述上料托架上设置有相互平行的三组卸料定位齿板，且上料托架上方设置有物料台，该物料台上设置有供卸料定位齿板插入的工作槽位，该工作槽位的左右侧均设置有整理气缸，整理气缸的活塞杆上连接有整理条。

本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统，所述石墨舟移送机构的另一侧安装有硅片卸料机构；所述硅片卸料机构包含有卸料支柱，所述卸料支柱上通过直线导轨竖向滑动连接有卸料底板，所述卸料底板上通过卸料托架安装有翻转电机，所述翻转电机的转轴与卸料花篮相连，所述卸料底板旁设置有卸料平台，该卸料平台上通过直线导轨滑动连接有卸料板，该卸料板的一侧设置有用于安放花篮的卸料仓，另一侧上装有卸料传输带，且卸料传输带位于卸料花篮的下方。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：