[实用新型]真空设备

权利要求书

1.一种真空设备，包括真空腔体和门盖，所述真空腔体设有开口，所述门盖设于开口处，其特征在于，还包括设于所述开口处的可拆卸式密封件，所述密封件与真空腔体可拆卸式连接，所述密封件与门盖相对的一面设有光滑的密封面，所述门盖上设有与所述密封面对应设置的密封部。

2.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述真空腔体包括腔室部和自腔室部设有开口的一侧面向外延伸的开口部，所述开口部与腔室部连通，且开口部的开口尺寸小于腔室部的侧面尺寸，所述密封件套接在所述开口部外侧并与腔室部外侧密封连接。

3.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述腔室部上、环绕开口部的位置设有螺纹沉孔；相应地，所述密封件上的也设有螺纹沉孔，所述密封件和腔室部通过螺钉固定连接。

4.根据权利要求3所述的真空设备，其特征在于，所述开口部为矩形。

5.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述密封件内侧壁环设向内凸起的抵挡部，所述开口部的开口外缘与所述抵挡部抵接以密封。

6.根据权利要求2所述的真空设备，其特征在于，所述密封件为刚性结构，所述开口部为弹性结构。

7.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述门盖与真空腔体转动连接。

8.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述门盖与密封件转动连接。

9.根据权利要求1所述的真空设备，其特征在于，所述密封部为密封圈。