[实用新型]高均匀度的紫外LED曝光头有效
| 申请号： | 201420651432.4 | 申请日： | 2014-11-03 |
| 公开（公告）号： | CN204129435U | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 尹韶云;孙秀辉;董燕;周维超;吴鹏;蔡文涛;谭艾英;杜春雷 | 申请（专利权）人： | 中国科学院重庆绿色智能技术研究院 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京同恒源知识产权代理有限公司 11275 | 代理人： | 赵荣之 |
| 地址： | 400714 *** | 国省代码： | 重庆;85 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 均匀 紫外 led 曝光 | ||
1.高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：包括紫外LED光源模组(1)、第一蝇眼透镜匀化系统(2)、第一准直场镜系统(3)、第二蝇眼透镜匀化系统(4)和第二准直场镜系统(5)，所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系统、第一准直场镜系统、第二蝇眼透镜匀化系统、第二准直场镜系统。
2.根据权利要求1所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：所述紫外LED光源模组包括紫外LED灯珠阵列(8)和自由曲面LED透镜(9)，所述自由曲面LED透镜设置在紫外LED灯珠阵列的靠近第一蝇眼透镜匀化系统的一侧。
3.根据权利要求2所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：所述紫外LED光源模组还包括与紫外LED灯珠阵列连接的控制部(7)。
4.根据权利要求2或3所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：所述紫外LED光源模组还包括散热鳍片(10)和风扇(11)，所述散热鳍片的底壁紧贴紫外LED灯珠阵列，所述风扇设置于散热鳍片的出风侧。
5.根据权利要求2所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：所述紫外LED灯珠阵列包括若干个紫外LED灯珠，所述若干个紫外LED灯珠近正六边形方式排列。
6.根据权利要求1所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：所述第一蝇眼透镜匀化系统包括若干个蝇眼透镜，所述若干个蝇眼透镜以正六边形方式排列。
7.根据权利要求1或5所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：所述第二蝇眼透镜匀化系统包括若干个蝇眼透镜，所述若干个蝇眼透镜以正六边形方式排列。
8.根据权利要求1所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：经过第一准直场镜系统的光线最大出射角小于5度。
9.根据权利要求1所述的高均匀度的紫外LED曝光头，其特征在于：经过第二准直场镜系统的光线的最大出射角小于2.5度。
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