[实用新型]自重闭合式楔形阀装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种半导体湿法腐蚀过程化剂开关控制的自重闭合式防腐蚀楔形阀装置。

背景技术

当前，在采用湿法腐蚀的半导体制造工艺过程中，采用电磁阀控制酸液/碱液的输送。然而，频繁的开关过程诱发产生密封橡胶垫疲劳后的老化破损，密封橡胶垫破损后，酸液/碱液泄露后与电磁阀的金属组件反应，同时与组件间的润滑油脂混合，产生对酸液/碱液的直接污染。由于电磁阀的密闭式结构，很难及时发现和确认密封橡胶垫圈的状态，这就直接导致了酸液/碱液存在不确定污染的风险。而酸液/碱液的污染就会直接产生对半导体器件核心组件——芯片的污染，影响产品的质量。

实用新型内容

本实用新型针对以上问题，提供了一种结构简单，可以彻底排除了开关阀门对酸液/碱液形成的污染源，提高产品质量的自重闭合式楔形阀装置。

本实用新型的技术方案是：所述楔形阀装置设置在容器内，所述容器的顶面设有排气口、底面设有安装孔；所述楔形阀装置包括楔形阀体、楔形阀座、连接套管、出口管道和提升机构，

所述楔形阀体通过所述提升机构活动设在所述排气口内，所述楔形阀座固定连接在所述安装孔内，所述楔形阀座的上部设有楔形孔，所述楔形阀体适配地设在所述楔形孔内；

所述出口管道通过所述连接套管连接在所述楔形阀座的下部。

    所述楔形孔的夹角为4°-8°。

所述提升机构设在所述容器的外部，所述提升机构通过控制器控制。

    所述楔形阀体为铁氟龙板。

本实用新型包括楔形阀体、楔形阀座、连接套管、出口管道和提升机构，全部使用防强酸腐蚀的材料制作，避免直接和间接与酸液/碱液接触，从而避免了腐蚀产生的故障；楔形阀体通过提升机构操作，楔形阀体的提升滞空时间受设备控制程序控制，按照程序要求的时间释放楔形阀体后，楔形阀体靠自重作用落入楔形阀座，起到闭合开关的作用。楔形阀体与楔形阀座的机械性接触不会产生楔形阀体的机械疲劳性老化；楔形阀体寿命长，且出现磨损后可以很方便的随时更换。本实用新型便于加工，提高了工作的可靠性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图，

图2是图1中I处的局部放大图；

图中1是容器，2是楔形阀体，3是楔形阀座，4连接套管，5是出口管道，6是提升机构。

具体实施方式

本实用新型如图1-2所示，所述楔形阀装置设置在容器1内，所述容器1的顶面设有排气口、底面设有安装孔；所述楔形阀装置包括楔形阀体2、楔形阀座3、连接套管4、出口管道5和提升机构6，

所述楔形阀体2通过所述提升机构6活动设在所述排气口内，所述楔形阀座3固定连接在所述安装孔内，楔形阀座3采用与容器1材质相同的材料，便于实现密封焊接。

所述楔形阀座3的上部设有楔形孔，所述楔形阀体适配地设在所述楔形孔内；

所述出口管道5通过所述连接套管7连接在所述楔形阀座3的下部。

    所述楔形孔的夹角为4°-8°。工作中，楔形阀芯和楔形阀座的锥度可以根据酸液/碱液的用量需要任意选择。。

所述提升机构6设在所述容器的外部，所述提升机构通过控制器控制。通过设备控制程序控制提升机构的起落周期，间接获得楔形阀门的开关动作。提升机构可以是电磁控制系统、气动组件系统或滑轮组系统。

    所述楔形阀体2为铁氟龙板，可以任意更换。

本实用新型在安装、使用中的特点：

1）、开关，开启信号受设备控制器控制，不接触酸液或碱液；开关信号发出后，提升机构开启楔形阀；

2）、连接，楔形阀座采用实心棒体加工出和楔形阀体同样的锥度后，通过连接套管与外部出口管道连接；

3）、接触，通过楔形阀体自重作用，自然落入楔形阀座，通过相同锥度的楔形阀芯与阀座的机械性接触实现开关作用，所有阀门组件全部由防酸/碱耐腐蚀的材料加工；

4）、防护，提升机构的控制部分在受保护的密闭环境，且密闭状态下的容器避免化剂的蒸发，楔形阀体从容器的排气孔引出，因此，在避免了普通电磁阀出现密封垫圈疲劳损伤后酸液或碱液污染的同时，也排除了频繁更换电磁阀带来对车间作业环境的污染及人体损害的风险。