[实用新型]用于硅烷色谱分析的采样系统

权利要求书

1.一种用于硅烷色谱分析的采样系统，包括样品进气气路、吹扫气进气气路、截止阀、过滤器、气路三通、流量计、分析单元和尾气处理系统，其特征在于：所述的采样系统设有一路样品进气气路和两路吹扫气进气气路，所述的过滤器（10）和流量计（11）设于进入分析单元（12）的气路上，所有尾气都进入尾气处理系统（13）。

2.根据权利要求 1 所述的用于硅烷色谱分析的采样系统，其特征在于：所述的采样系统中样品进气气路（1）串接第一减压阀（4）后与第一气路三通（15）连接；第一吹扫气进气气路（2）串接第二减压阀（5）后再和第一气路三通（15）连接，在第二减压阀（5）和第一气路三通（15）之间设有第一截止阀（7）；第二吹扫气进气气路（3）串接第三减压阀（6）后直接连接到尾气处理系统（13）上。

3.根据权利要求 1或2 所述的用于硅烷色谱分析的采样系统，其特征在于：所述的第一气路三通（15）和第二气路三通（16）相连，再依次串接第二截止阀（8）、过滤器（10）和流量计（11）后与分析单元（12）连接，第二气路三通（16）与第三气路三通（17）间还串接有第三截止阀（9），分析单元（12）排出的尾气通过第三气路三通（17）接入尾气处理系统（13）。

4.根据权利要求 1或2所述的用于硅烷色谱分析的采样系统，其特征在于：所述的尾气处理系统（13）采用装有10%NaOH的溶液的洗气瓶，所述的洗气瓶上部设有三路气路，一路连接第三气路三通（17），接收第三气路三通（17）排出的尾气，一路连接第三减压阀（6），接收第三减压阀（6）排出的吹扫气，另一路连接排空口（14）。