[实用新型]离轴抛物面镜焦距的检测装置有效
| 申请号： | 201420660109.3 | 申请日： | 2014-11-06 |
| 公开（公告）号： | CN204202853U | 公开（公告）日： | 2015-03-11 |
| 发明（设计）人： | 施丽敏 | 申请（专利权）人： | 上海现代先进超精密制造中心有限公司 |
| 主分类号： | G01M11/02 | 分类号： | G01M11/02 |
| 代理公司： | 上海新天专利代理有限公司 31213 | 代理人： | 张宁展 |
| 地址： | 200433 上海市杨*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 抛物面镜 焦距 检测 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种离轴抛物面镜焦距的检测装置，其特征在于，该装置由斐索干涉仪(1)及其标准平面镜(2)、五维调整架(6)、补偿小球(4)及其三维调整架(5)、辅助圆柱(9)、承托固定底板(7)和三坐标测量机(8)组成；
所述的标准平面镜(2)是所述的斐索干涉仪(1)的光束输出窗口；
所述的五维调整架(6)的顶面固定有一基座，在该基座一端固定有待测离轴抛物面镜(3)，另一端设有与该待测离轴抛物面镜具有同一曲面的辅助圆柱(9)；
所述的五维调整架(6)、补偿小球(4)及其三维调整架(5)固定在承托固定底板(7)上，所述的斐索干涉仪(1)位于所述的基座摆放待测离轴抛物面镜的正上方。
2.根据权利要求1所述的离轴抛物面镜焦距的检测装置，其特征在于，所述的辅助圆柱(9)的直径为5-15mm。
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