[实用新型]VGF锗单晶生长炉芯模具

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种模具，尤其是一种用于VGF锗单晶生长过程中，简化炉芯制作过程，便于固定测温热偶位置的VGF锗单晶生长炉芯模具。

背景技术

VGF法是利用坩埚作为容器，在低真空环境下，通过精确控温，通过化料、熔晶再使用垂直梯度凝固法进行晶体生长的一种方法，最初的VGF法是80年代初用于生长半导体材料GaAs单晶的方法。人们成功地用VGF法生长出GaAs单晶,并对其生长工艺进行了深入研究，并用VGF法生长出了大直径掺磷锗单晶。

在VGF方法中，炉芯是晶体生长支撑系统的一部分，主要是用来放置测温热偶、散热，在锗单晶生长中籽晶熔接也在炉芯中进行。炉芯的均匀程度对热场、炉芯内部两侧测温热偶的位置对于籽晶熔接都有直接影响。因此，一个炉芯制作的均匀与否直接关系到锗单晶生长时晶体的合格率。

在制作炉芯的过程中，通常先将湿棉用铁管压平，切成要求的尺寸，然后在湿棉刷上高铝水泥，之后将湿棉卷成棒型然后烘烤炉中进行烘烤，之后在炉芯内部两侧插入测温热偶，并进行固定，即可使用。

然而在卷曲过程中，卷曲的压力不好控制，用力过大则会导致成型后的炉芯呈椭圆状，导致不能使用，用力过小则导致卷曲后的炉芯结构松散，容易在烘烤过程中解体；而且插入的测温热偶位置不好判定，不能准确的对称插入，导致后期测温不准确，影响炉芯正常使用。

发明内容

本实用新型所要解决的就是目前VGF锗单晶生长过程中，炉芯制作不便，影响炉芯正常使用的问题，提供一种简化炉芯制作过程，便于固定测温热偶位置的VGF锗单晶生长炉芯模具。

本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具，其特征在于该模具包括底座和连杆，底座与连杆均为圆柱体，连杆的横截面直径小于底座的横截面直径，连杆设置在底座顶部且与底座保持同轴，底座两侧壁上均设置有凹槽，凹槽为两个，对称设置在底座两侧壁上。

所述的连杆长度不大于底座长度。

将湿棉压平切成要求的尺寸、刷上高铝水泥后，将炉芯模具放置在湿棉上，将湿棉绕模具卷起一部分，然后把两根测温热偶放置在底座的凹槽内，之后把湿棉卷起完毕，放入烘烤炉烘烤，最后待湿棉冷却后将模具抽出，即可完成炉芯的制作。

本实用新型的VGF锗单晶生长炉芯模具，设计科学，结构简单，使用方便，简化了炉芯的制作过程，测温热偶位置放置准确，提高炉芯的制作效率与成功率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图。

其中，底座1，凹槽2，连杆3。

具体实施方式

实施例1：一种VGF锗单晶生长炉芯模具，其特征在于该模具包括底座1和连杆3，底座1与连杆3均为圆柱体，连杆3的横截面直径小于底座1的横截面直径，连杆3设置在底座1顶部且与底座1保持同轴，底座1两侧壁上均设置有凹槽2，凹槽2为两个，对称设置在底座1两侧壁上。连杆3长度不大于底座1长度。

将湿棉压平切成要求的尺寸、刷上高铝水泥后，将炉芯模具放置在湿棉上，将湿棉绕模具卷起一部分，然后把两根测温热偶放置在底座1的凹槽2内，之后把湿棉卷起完毕，放入烘烤炉烘烤，最后待湿棉冷却后将模具抽出，即可完成炉芯的制作。