[实用新型]电压反向装置及包含电压反向装置的硅芯电阻率检测系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及硅芯电阻率检测技术领域，特别是涉及一种电压反向装置及包含电压反向装置的硅芯电阻率检测系统。

背景技术

多晶硅的生产离不开硅芯，在生产多晶硅的过程中，为了保证多晶硅产品的合格率，硅芯的电阻率必须要符合行业标准，因此，硅芯电阻率的检测是多晶硅生产企业的必要工艺流程，且快速准确地检测出硅芯的电阻率，对多晶硅产出具有重要的意义。通常，测量硅芯电阻率需要先测量正向电流或电压，然后再测量反向电流或电压，将测量得到的正向电流或电压与反向电流或电压计算平均电压，根据平均电压计算电阻率，并将计算得到的电阻率与行业标准比较，从而判断硅芯的电阻率是否合格。

传统的多晶硅生产企业，通常是利用硅芯电阻率测试仪来检测硅芯的电阻率。而硅芯电阻率测试仪自身具有电流反向的功能，即在硅芯电阻率测试仪内部，通过电流反向功能模块实现电流自动反向的功能，该电流反向功能模块为集成电路。

然而，这种具有电流自动反向功能的硅芯电阻率测试仪在使用过程中具有以下缺陷：

1、一旦电流反向模块发生故障，集成电路的故障很难由用户自行排除，也就是说，用户无法自行维修，只能返回硅芯电阻率测试仪厂商返修，一方面，维修周期长、维修成本高；

2、电流反向功能模块集成在硅芯电阻率测试仪内部，电流检测线的输出端只有1个，一方面，每次只能够检测1根硅芯的电流，检测效率低；另一方面，不具备扩展性，可靠性差。

因此，亟需一种电压反向装置及包含电压反向装置的硅芯电阻率检测系统以解决上述技术问题。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中存在的上述不足，提供一种电压反向装置及包含电压反向装置的硅芯电阻率检测系统，用以解决使用效率低，可扩展性和可靠性差，后期维修费用高、周期长的问题。

本实用新型为解决上述技术问题，采用如下技术方案：

本实用新型提供一种电压反向装置，所述装置为继电器，包括至少一组开关，每组开关包括第一开关和第二开关，第一开关的常闭触点与第二开关的常开触点短接，第一开关的常开触点与第二开关的常闭触点短接；

当电压反向装置未上电时，第一开关的动触点与第一开关的常闭触点吸合，第二开关的动触点与第二开关的常闭触点吸合；

当电压反向装置上电时，第一开关的动触点与第一开关的常开触点吸合，第二开关的动触点与第二开关的常开触点吸合。

本实用新型还提供一种硅芯电阻率检测系统，包括：处理器、电压变送器和如前所述的电压反向装置，所述电压反向装置与待测硅芯相连，能够在电压反向装置上电时，将加载在待测硅芯上的电压反向；

处理器与所述电压反向装置相连，能够为所述电压反向装置供电或断电；

电压变送器分别与所述处理器和电压反向装置相连，能够检测加载在待测硅芯上的电压，将所述电压转换为电流，并将所述电流发送给所述处理器。

优选的，所述电压反向装置的第一开关的动触点和第二开关的动触点分别与待测硅芯相连；

电压变送器的两端分别与第一开关的常闭触点和第二开关的常闭触点相连。

进一步的，所述系统还包括空气断路器，空气断路器分别与所述处理器的供电输入端和电源相连。

进一步的，所述系统还包括上位机，上位机与所述处理器相连。

优选的，所述上位机与处理器采用总线连接。

优选的，所述上位机与处理器采用cp5611通讯卡进行通讯。

优选的，所述电压变送器与处理器采用模拟信号输入卡件进行通讯；所述处理器采用S7-300系列可编程逻辑控制器PLC。

进一步的，所述电压反向装置还包括用于为所述开关供电的线圈，线圈设置于所述第一开关的动触点和第二开关的动触点的一侧，且线圈的两个抽头分别与所述处理器相连。

优选的，所述处理器、电压变送器和电压反向装置固定在导轨上。

本实用新型具有如下有益效果：

本实用新型通过将继电器作为电压反向装置，将继电器设置至少两个开关，并将第一开关的常闭触点与第二开关的常开触点短接，第一开关的常开触点与第二开关的常闭触点短接，在继电器未上电和上电时，第一开关的常闭触点和第二开关的常闭触点上的电压反向，该电压反向装置采用电气元件实现，维修和更换更为容易，维修时间短、成本低；通过扩展多组开关，不但可以实现多根硅芯同时检测，提高了硅芯电阻率的检测效率，而且，当其中一组开关出现故障时，还可以继续使用其他组的开关，可靠性更高。

附图说明