[实用新型]脉冲微位移传感器

权利要求书

1.一种脉冲微位移传感器，其特征在于：包括光源（1）、分束器（16）、运动光栅（2）、固定光栅（3）、增反层（4）、第一红外光电探测器（5）、第一聚焦透镜组（6）、第二红外光电探测器（7）、第二聚焦透镜组（8）、第一固定底座（9）、第二固定底座（15）、回形悬臂梁（10）、上层电容平板（11）、下层电容平板（12）、信号处理模块（13）和电流驱动模块（14）；所述上层电容平板（11）上刻蚀运动光栅（2）；上层电容平板（11）的一端通过两个回形悬臂梁（10）与第一固定底座（9）相连，另一端通过两个回形悬臂梁（10）与第二固定底座（15）相连；第一固定底座（9）和第二固定底座（15）均固定在增反层（4）上；上层电容平板（11）通过回形悬臂梁（10）、第一固定底座（9）和第二固定底座（15）与增反层（4）电连接；所述下层电容平板（12）上刻蚀固定光栅（3），下层电容平板（12）固定在增反层（4）上，与增反层（4）绝缘；

在上层电容平板（11）的两个长边处对称设有两个第一梳状电极（17），在每个第一梳状电极（17）的上方各设有与其所对应的第二梳状电极（18），且所述第二梳状电极（18）可靠静电力被第一梳状电极（17）吸引或排斥；每个第二梳状电极（18）均通过梳状电极固定底座固定在增反层（4）上，与增反层（4）绝缘；

所述光源（1）置于上层电容平板（11）的正上方，光源（1）的下方设有分束器（16），第一红外光电探测器（5）和第二红外光电探测器（7）对称置于光源（1）的两侧，第一聚焦透镜组（6）置于第一红外光电探测器（5）的正下方，第二聚焦透镜组（8）置于第二红外光电探测器（7）的正下方；第一红外光电探测器（5）和第二红外光电探测器（7）与信号处理模块（13）相连；下层电容平板（12）的两侧通过引线相连后接入电流驱动模块（14）；两个梳状电极固定底座通过引线相连后接入电流驱动模块（14）；增反层（4）的两侧通过引线相连后接入电流驱动模块（14）；电流驱动模块（14）与信号处理模块（13）相连；

所述光源（1）为带有准直扩束的红外1530nm光源；所述增反层（4）由800nm的SiN₃和600nm的SiO₂以及Si基底从上至下依次排布组成；所述运动光栅（2）和固定光栅（3）厚度均为950-965nm；光栅数均为30-80个，周期T均为1493-1500nm，占空比均为0.45-0.5；运动光栅（2）与固定光栅（3）的空气间隙为300-400nm。

2.根据权利要求1所述一种脉冲微位移传感器，其特征在于：所述的光源（1）为垂直腔表面发射激光器。