[实用新型]真空镀膜腔体密封面保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种腔体密封面保护装置，特别涉及一种在真空镀膜领域内的腔体密封面保护装置，该装置结构简单，使用方便，对真空镀膜腔体密封面的保护非常有效。

背景技术

目前，真空镀膜是一种产生薄膜材料的技术。真空镀膜的先决条件是要确保真空腔体具有良好稳定的真空度。因此为确保密封性，保护密封腔体的密封面不受损伤显得极为关键；然而在实际生产过程中，需要经常更换镀膜靶材，反复更换靶材使得靶材的溅射物会掉落在密封面上，如不及时清理，极易造成密封面的划伤，从而导致出现密封效果不佳的问题，为减少换靶过程中溅射物对密封面的损伤，一般都是人工在密封面上粘贴胶带，然而，靶材及挡底板搬运时，还会极易与密封面接触，磕伤使得密封面遭受损害而导致密封性能降低，从而使得真空抽气时间加长，且密封面损坏后的维修极其困难，极大的影响着生产连续、正常的进行。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本使用新型的目的在于：提供一种真空镀膜腔体密封面保护装置，该装置结构简单，使用方便，对真空镀膜腔体密封面的保护非常有效。

为实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种真空镀膜腔体密封面保护装置，所述真空镀膜腔体为长方体，该腔体的一面具有一开口，该开口所处的平面为密封面，该腔体短边外壁均具有一定位凸起，该腔体的一长边的密封面向腔体内延伸一凸沿，其特征在于，该保护装置包括：

短边保护套，该短边保护套具有一顶板，该顶板与该密封面平行，该顶板的长边具有一缺口，所述定位凸起卡合于该缺口，该顶板的长边垂直延伸出一外板，该外板平行贴合于该腔体的外壁，该顶板的短边垂直延伸出一内板，该内板平行贴合于该腔体的内壁，该短边与该顶板形成的两台阶卡合于该腔体内壁转角处；

第一长边保护套，为两侧面开口并呈凹字形，该第一长边保护套扣合于该腔体的一第一长边的密封面上；第二长边保护套，也为两侧面开口并呈凹字形，且该腔体的凸沿嵌合于该第二长边保护套的凹槽内。

其中，该第二长边保护套的上板的宽度与腔体壁的宽度相匹配，所述第二长边保护套的下板的宽度与该腔体凸沿的宽度相匹配

与现有技术相比，采用上述技术方案的本实用新型的优点在于：

(1)首先，打破了传统只用胶带保护镀膜腔体密封面的方式，在腔体密封面上安装凹字形的罩盖，一方面减少人工粘贴胶带的时间，另一方面该保护装置为板状硬质材料，可将靶管、底板等放在该些保护装置上，有效降低搬运过程中的劳动强度，同时还可以保护密封面不受其他物品的磕碰，延长使用寿命，减少维修次数；

(2)其次，该保护装置结构简单，但对镀膜线腔体密封面的保护非常有效，且使用灵活方便，可以将不同的保护套，扣在不同的镀膜腔体密封面上。

附图说明

图1为本实用新型短边保护套立体外观示意图；

图2为本实用新型第一长边保护套立体外观示意图；

图3为本实用新型第二长边保护套立体外观示意图；

图4为本实用新型真空镀膜腔体立体示意图；

图5为本实用新型装配后立体示意图。

附图标记说明：1-短边保护套；11-顶板；12-外板；121-长边；13-内板；131-短边；14-台阶；15-缺口；2-第一长边保护套；3-第二长边保护套；31-上板；32-下板；4-腔体；40-密封面；41-短边；42-第一长边；43-第二长边；431-凸沿；44-定位凸起。

具体实施方式

下面结合具体实施例来进一步描述本实用新型，本实用新型的优点和特点将会随着描述而更为清楚。但实施例仅是范例性的，并不对本实用新型的范围构成任何限制。本领域技术人员应该理解的是，在不偏离本实用新型的精神和范围下可以对本实用新型技术方案的细节和形式进行修改或替换，但这些修改和替换均落入本实用新型的保护范围内。

如图4所示，为本实用新型的真空镀膜腔体的立体外观示意图，其中，所述真空镀膜腔体4为一面具有开口的长方体，该开口所处的平面为密封面40，该腔体4短边41外壁的中部均具有一定位凸起44，该腔体4具有两个长边，第一长边42和第二长边43，第一长边42处的密封面40的宽度与此处的腔体壁的厚度一致，该第二长边43的密封面40向腔体4内延伸一凸沿431，从而使得第二长边43处的密封面40的宽度大于该第二长边43处的腔体壁的厚度；如图5所示，为本实用新型装配后立体示意图，可知，该真空镀膜腔体4的四个腔体壁的密封面40均具有保护装置，该保护装置包括：