[实用新型]一种光刻机用陶瓷吸盘

权利要求书

1.一种光刻机用陶瓷吸盘，包括：

本体，其下方固定连接盖体；所述本体的上表面设有多个凸起，多个凸起的上表面位于同一平面；所述本体的下表面设有吸附槽，所述吸附槽上设有穿透本体的吸附孔，与吸附槽相连通；

其特征在于，还包括：

第一筋板，设置在本体的下表面，所述第一筋板上设有至少一个第一凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。

2.根据权利要求1所述的一种光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，还包括：

第二筋板，设置在本体的下表面，与所述第一筋板相互交错设置，所述第二筋板上设有至少一个第二凹槽，用于避免陶瓷烧结过程中陶瓷吸盘产生的内应力。

3.根据权利要求2所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于：

两条以上的第一筋板相互平行设置，两条以上的第二筋板相互平行设置，且所述第一筋板垂直于所述第二筋板设置；

每两条第二筋板之间的所述第一筋板上均设有第一凹槽，所述第一凹槽在沿着第二筋板长度的方向相贯通；

每两条第一筋板之间的所述第二筋板上设有一第二凹槽，所述第二凹槽在沿着第二筋板长度的方向相贯通。

4.根据权利要求3所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于:

两条以上的第一筋板上的第一凹槽相互连通，相互连通的第一凹槽的轴线平行于所述第二筋板；

两条以上的第二筋板上的第二凹槽相互连通，相互连通的第二凹槽的轴线平行于所述第一筋板。

5.根据权利要求1所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于:所述第一凹槽和/或第二凹槽的横截面为半弧形、矩形、梯形、V字形。

6.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述本体上设有至少一个连接孔。

7.根据权利要求6所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述连接孔 为3个，均匀贯通设置在所述本体及盖体上。

8.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述本体与盖体通过固化剂粘接连接或所述本体与盖体通过烧结连接。

9.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述吸附槽为三个，每个吸附槽的一端部交汇于所述本体的中心，另一端部分别设有一吸附孔，三个吸附槽对称设置在所述本体上。

10.根据权利要求1-5任一项所述的光刻机用陶瓷吸盘，其特征在于，所述凸起的上表面为正方形，多个凸起相隔间距均匀设置在所述本体的上表面。