[实用新型]一种射频电源

权利要求书

1.一种射频电源，其特征在于，包括：

壳体，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室；所述容置室的腔壁上设有连通所述容置室和第一腔室的散热入风口、和连通所述容置室和所述第二腔室的散热出风口；所述第一腔室设有入风口，所述第二腔室设有出风口；

使所述第一腔室内的气体干燥的第一气体干燥装置。

2.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述第一气体干燥装置包括干燥气源设备，所述干燥气源设备的出风口与所述第一腔室的入风口通过通风管道密封连通。

3.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，所述第一气体干燥装置包括设置于所述第一腔室内的干燥模块。

4.根据权利要求3所述的射频电源，其特征在于，所述干燥模块位于所述第一腔室的入风口处。

5.根据权利要求3所述的射频电源，其特征在于，所述第一气体干燥装置还包括出风口与所述第一腔室的入风口连通的气源。

6.根据权利要求1所述的射频电源，其特征在于，还包括使第二腔室内气体干燥的第二气体干燥装置。

7.根据权利要求6所述的射频电源，其特征在于，所述第二气体干燥装置为设置于所述第二腔室内、且设置于所述第二腔室出风口处的干燥模块。

8.根据权利要求6所述的射频电源，其特征在于，所述第二气体干燥装置包括干燥气源设备，所述干燥气源设备的出风口与所述第二腔室连通。

9.根据权利要求1-8任一项所述的射频电源，其特征在于，所述壳体内形成第一腔室、第二腔室以及用于安装电源组件的容置室，具体包括：

所述壳体包括电源主体壳体、第一护罩和第二护罩；所述电源主体壳体内部形成所述容置室，所述第一护罩位于所述电源主体壳体的一侧、且与所述电源主体壳体密封配合以形成所述第一腔室，所述第二护罩位于所述电源主体壳体背离所述第一护罩的一侧、且与所述电源主体壳体密封配合以形成所述第二腔室。

10.根据权利要求9所述的射频电源，其特征在于，所述第一护罩和所述第二护罩的材料为铝。