[实用新型]一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚

权利要求书

1.一种具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，包括坩埚本体(1)，其特征在于，还包括围设在坩埚本体(1)外的坩埚护板(2)和用于封盖在坩埚本体(1)上的坩埚盖板(3)，在坩埚本体(1)内设置有用于将坩埚本体(1)的内部空腔分隔成位于中部的用于容置碎料的第一空间和围在所述第一空间四周的用于容置块料和护边料的第二空间的隔板(5)，坩埚本体(1)的底部内侧设置有用于使隔板(5)通过插接固定于坩埚本体(1)内的插槽(4)；

隔板(5)围成的第一空间的形状与坩埚本体(1)内部空腔的形状一致；

所述坩埚还包括由硅粉形成的硅粉层(6)、由球形SiO2颗粒形成的颗粒层(7)和设置在颗粒层(7)之上的疏松的第一氮化硅涂层(81)、设置在坩埚本体(1)的侧壁内表面的坚硬致密的第二氮化硅涂层(82)以及设置在第一氮化硅涂层(81)之上的碎硅料层(9)；

所述硅粉层(6)设置在坩埚本体(1)的底部内表面，所述颗粒层(7)设置在硅粉层(6)之上。

2.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，隔板(5)为多块，相邻两块隔板(5)之间的间隙能够阻挡位于所述第二空间的块料进入所述第一空间。

3.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，插槽(4)直接在坩埚本体(1)底部内侧开设而形成。

4.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，坩埚本体(1)底部内侧对应隔板的位置分别设置有凸棱，每个所述凸棱上均开设有插槽(4)。

5.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，隔板(5)围成的位于中部的用于容置碎料的第一空间的底部面积为坩埚本体(1)内部底部面积的1/2～1/3。

6.根据权利要求5所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，隔板(5)围成的位于中部的用于容置碎料的第一空间的底部面积为坩埚本体(1)内部底部面积的1/2。

7.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，坩埚本体(1)内部空腔的横截面的形状为正方形，隔板(5)围成的第一空间的横截面的形状为正方形。

8.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，坩埚本体(1)内部空腔的横截面的形状为圆形，隔板(5)围成的第一空间的横截面的形状为圆形。

9.根据权利要求1所述的具有可拆卸隔板的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，所述隔板(5)的高度为坩埚本体(1)内部空腔高度的1/2～3/4。

10.根据权利要求1所述的生产多晶硅的坩埚，其特征在于，所述第一氮化硅涂层(81)的厚度为2mm～3mm，所述第二氮化硅涂层(82)的厚度为1mm～2mm。