[实用新型]一种基于LTCC高密度热流的散热腔体有效
申请号: | 201420686693.X | 申请日: | 2014-11-17 |
公开(公告)号: | CN204204832U | 公开(公告)日: | 2015-03-11 |
发明(设计)人: | 王博;兰伟 | 申请(专利权)人: | 成都泰格微电子研究所有限责任公司 |
主分类号: | H01L23/15 | 分类号: | H01L23/15;H01L23/373;H01L23/367 |
代理公司: | 成都金英专利代理事务所(普通合伙) 51218 | 代理人: | 袁英 |
地址: | 611731 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 ltcc 高密度 热流 散热 | ||
技术领域
本实用新型涉及散热腔体,特别是一种基于LTCC高密度热流的散热腔体。
背景技术
任何电子器件在工作时都有一定的损耗,大部分的损耗变成热量。小功率器件损耗小,无需散热装置,而大功率器件损耗大,若不采取散热措施,则器件的温度可达到或超过允许的结温,器件将受到损坏,因此必须加散热装置。最常用的是采用高导热率的材料作为腔体,但是往往导热率高的材料,热应力比较大,难以满足电子设备低热应力,高导热率的要求。
T/R 组件是相控阵雷达的核心部件, 是实现和保证雷达整机性能的关键所在。T/R 封装材料往往追求材料的热膨胀系数(CTE)要与芯片材料如Si、砷化镓(GaAs)以及陶瓷基板材料如Al2O3、BeO等相匹配, 在(3~7)×10-6℃-1之间, 以避免芯片的热应力损坏。随着电子晶片不断向高性能、高速度和高集成度的方向发展, 电子元件的发热量及相对热流量越来越高, 散热问题逐渐成为T/R组件首先要解决的关键技术之一, 直接影响到组件的可靠性和寿命。选择一种合理的结构材料成为T/R 组件结构设计的关键部分。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术的缺点,提供一种导热率高和热应力低的基于LTCC高密度热流的散热腔体,使可伐腔体与钨铜块结合成一体,既保证了可伐腔体与陶瓷基片相近的膨胀系数,不会引起热应力损坏,又保证了芯片在钨铜块上的散热良好。
本实用新型的目的通过以下技术方案来实现:一种基于LTCC高密度热流的散热腔体,它包括可伐腔体、镶块、芯片和陶瓷基片,镶块通过锡焊镶嵌于可伐腔体的底部,芯片设置于镶块上方,陶瓷基片烧结于镶块一侧的可伐腔体底部,芯片与陶瓷基片通过金丝键合。
所述的镶块为高导热材料制成。
所述的镶块为钨铜块,芯片烧结于钨铜块上。
本实用新型具有以下优点:本实用新型使可伐腔体与钨铜块结合成一体,既保证了可伐腔体与陶瓷基片相近的膨胀系数,不会引起热应力损坏,又保证了芯片在钨铜块上的散热良好。
附图说明
图1 为本实用新型的结构示意图;
图中:1-可伐腔体,2-镶块,3-芯片,4-陶瓷基片,5-金丝。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的描述,但本实用新型的保护范围不局限于以下所述。
如图1所示,一种基于LTCC高密度热流的散热腔体,它包括可伐腔体1、镶块2、芯片3和陶瓷基片4,镶块2通过锡焊镶嵌于可伐腔体1的底部,芯片3设置于镶块2上方,陶瓷基片4烧结于镶块2一侧的可伐腔体1底部,芯片3与陶瓷基片4通过金丝5键合。
所述的镶块2为高导热材料制成。
所述的镶块2为钨铜块,芯片烧结于钨铜块上。
本实用新型的工作过程如下:钨铜块采用锡焊的方式镶嵌在可伐腔体1的底部,陶瓷基片4与可伐腔体1烧结,芯片3烧结在钨铜块上,可伐腔体1与钨铜块结合成一体,既保证了可伐腔体1与陶瓷基片4相近的膨胀系数,不会引起热应力损坏,又保证了芯片3在钨铜块上的散热良好。
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