[实用新型]一种真空镀膜线的气体隔离调节装置有效
| 申请号： | 201420689707.3 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN204251699U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 郭庆;屠友明;黄琨;王贝;臧晓良 | 申请（专利权）人： | 中建材光电装备（太仓）有限公司;中国建材国际工程集团有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35 |
| 代理公司： | 苏州创元专利商标事务所有限公司 32103 | 代理人： | 马明渡;徐丹 |
| 地址： | 215434 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 真空镀膜 气体 隔离 调节 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种真空镀膜线的气体隔离调节装置，其特征在于：由在水平方向上并列设置的至少两个调节单元（1）组成，每个所述调节单元（1）包括第一螺栓（11）、L型板（12）、垫块（13）、第二螺栓（14）以及螺母（15）；所述L型板（12）包括竖向板面（121）以及与竖向板面（121）的上沿连接的横向板面（122），所述竖向板面（121）上开设有螺栓孔（1211），所述第一螺栓（11）经所述螺栓孔（1211）将L型板（12）固定于真空镀膜线的腔体内壁上；所述横向板面（122）的上表面上固定设置所述垫块（13），且横向板面（122）和垫块（13）上均贯穿设置有螺纹孔（1221），所述第二螺栓（14）从下往上穿入螺纹孔（1221）内与之螺纹配合，其螺杆端向上伸出与所述螺母（15）螺纹配合，而其螺杆端的端面作为作用于气体隔离装置的顶压作用部（141）。
2.根据权利要求1所述真空镀膜线的气体隔离调节装置，其特征在于：本装置由左右并列布置的两个调节单元（1）组成，每个所述调节单元（1）中，所述第一螺栓（11）为呈等边三角形布置的三个，所述第二螺栓（14）为在所述横向板面（122）的横向上并列布置的两个。
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