[实用新型]用于搬运光阻预烤炉零组件的倾斜滑车有效
| 申请号： | 201420692513.9 | 申请日： | 2014-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN204256372U | 公开（公告）日： | 2015-04-08 |
| 发明（设计）人： | 李东明 | 申请（专利权）人： | 李东明 |
| 主分类号： | G03F7/16 | 分类号： | G03F7/16 |
| 代理公司： | 北京科龙寰宇知识产权代理有限责任公司 11139 | 代理人： | 孙皓晨 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 搬运 光阻预 烤炉 零组件 倾斜 滑车 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于搬运光阻预烤炉零组件的倾斜滑车，其特征在于主要是由底架、支撑架、调整板及滑轮所组成，该支撑架是由多个支架组成平板状，供放置光阻预烤炉零组件，并利用该调整板使该支撑架该底架连结固定，位于该支撑架对应侧边设置多个定位孔，藉以调整该支撑架倾斜的角度，位于该底架底部四端边设有该滑轮，而组成倾斜滑车。
2.如权利要求1所述的用于搬运光阻预烤炉零组件的倾斜滑车，其中，该支撑架的倾斜角度为5～175度。
3.如权利要求1所述的用于搬运光阻预烤炉零组件的倾斜滑车，其中，该光阻预烤炉零组件为腔体或热板以上其一或其组合。
4.如权利要求1所述的用于搬运光阻预烤炉零组件的倾斜滑车，其中，该支撑架的外侧端边设有活动脚架。
5.如权利要求1所述的用于搬运光阻预烤炉零组件的倾斜滑车，其中，该滑轮侧边设有固定脚架。
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