[实用新型]圆片中心手动定位装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及半导体设备用工具领域，尤其涉及一种圆片中心手动定位装置。

背景技术

在半导体封装领域，尤其是涉及到照片涂布或者显影的制作过程必然会应用到转动模组，这些转动模组对圆片中心定位的要求都很高，在设备维修、测试以及手动作业过程中，时常会需要进行手动对中心进行定位，但是由于人为无法使圆片中心和旋转单元的中心重合，导致这些作业必须通过设备机械手自动完成。

实用新型内容

在下文中给出关于本实用新型的简要概述，以便提供关于本实用新型的某些方面的基本理解。应当理解，这个概述并不是关于本实用新型的穷举性概述。它并不是意图确定本实用新型的关键或重要部分，也不是意图限定本实用新型的范围。其目的仅仅是以简化的形式给出某些概念，以此作为稍后论述的更详细描述的前序。

本实用新型提供一种圆片中心手动定位装置，包括：

基座，所述基座包括水平方向设置的轴，所述轴上固定有用于对圆片进行初步定位的支撑环，所述基座位于所述支撑环的内部；

所述支撑环上均匀安装有多个用于对圆片进行精确定位的定位柱。

本实用新型提供的圆片中心手动定位装置通过一套组件的配合使用，通过人为操作，简便而且精准的实现对圆片中心的定位，并且可以灵活的应用在不同的设备，不同的旋转单元上。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型中圆片中心手动定位装置结构图；

图2为本实用新型中基座固定结构示意图；

图3为本实用新型中支撑环和定位柱安装结构主视图；

图4为本实用新型中支撑环和定位柱安装结构俯视图；

图5至图6为本实用新型中圆片中心手动定位装置使用过程示意图。

附图标记：

1-基座；    2-支撑环；    3-定位柱。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。在本实用新型的一个附图或一种实施方式中描述的元素和特征可以与一个或更多个其它附图或实施方式中示出的元素和特征相结合。应当注意，为了清楚的目的，附图和说明中省略了与本实用新型无关的、本领域普通技术人员已知的部件和处理的表示和描述。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有付出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

如图1所示为本实用新型提供的一种圆片中心手动定位装置，包括：

基座1，所述基座1包括水平方向设置的轴，所述轴上固定有用于对于圆片进行初步定位的支撑环2，所述基座1位于所述支撑环2的内部；

所述支撑环2上均匀安装有多个用于对圆片进行精确定位的定位柱3。

本实用新型中的圆片中心手动定位装置通过基座、支撑环和定位柱这一套组件的配合使用，只要人为的简单操作，就能实现对圆片中心的定位，并且可以更换设备，应用在不同的旋转单元上。

如图2所示为基座固定结构示意图，本实用新型中的圆片中心手动定位装置在使用之前，首先要将基座1固定在旋转单元的主轴上，本实用新型中装置所要定的圆片的中心需要与所述旋转单元的主轴的中心相重合，将基座固定在旋转单元的主轴上是为了接下来对圆片中心的定位。

可选的，所述支撑环2位于水平面内。所述基座是用来将所述圆片中心手动定位装置固定在旋转单元的主轴上的，所述旋转单元的主轴中心需要与圆片的中心相重合；支撑环是用来支撑定位柱等部件的，同时它也能对圆片进行初步定位。

随后需要将支撑环2和定位柱3安装到所述基座上对应的位置，并且对所述支撑环和定位柱的位置进行调节，使得圆片中心手动定位装置的中心基本上与旋转单元主轴的中心相重合，如图4俯视图所示。

可选的，所述定位柱3为L型，且所述L型定位柱连接在所述支撑环上的边与所述支撑环在同一水平面内；