[实用新型]在线光谱测量装置及透明介质膜层均匀性在线测量装置

权利要求书

1.一种在线光谱测量装置，其特征在于，包括支架，所述支架上设有导轨，所述导轨上设有测量探头，所述导轨一侧的支架上设有第一位置传感器，另一侧的支架上设有第二位置传感器，当第一位置传感器和第二位置传感器同时检测到被测镀膜样品时，所述测量探头在被测镀膜样品上方沿导轨步进运动逐点扫描测试，用于测试被测镀膜样品的各点膜面反射光谱。

2.根据权利要求1所述的一种在线光谱测量装置，其特征在于，所述导轨下方设有多个输送辊，所述多个输送辊用于输送放置在其上的被测镀膜样品。

3.一种透明介质膜层均匀性在线测量装置，其特征在于，包括权利要求1或2所述的在线光谱测量装置；还包括：

光学性能分析模块：用于对各点膜面反射光谱进行光学性能分析，计算得到平均膜面反射光谱和各点膜面反射颜色，根据各点膜面反射颜色得到膜面反射颜色范围；

折射率、厚度分析模块：用于根据平均膜面反射光谱建立柯西光学模型，利用遗传算法得到膜层折射率，通过平均膜面反射光谱获得膜层平均厚度；

均匀性分析模块：用于对膜面进行均匀性分析，根据膜层折射率和膜层平均厚度获得厚度与颜色线性关系，得到膜层厚度均匀性分布结果。