[实用新型]应用电子反应束制作超细金属粉末的装置

权利要求书

1.应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：在真空蒸发室的内腔内设置有坩埚，坩埚上侧或一侧的真空蒸发室的室壁上设置有可向坩埚内装料的带有放料阀的装料装置及一把以上的使金属由固态变成气态的电子枪，真空蒸发室的内腔与真空接收室的内腔通过带有真空阀的管道连通，真空接收室的内腔和真空蒸发室的内腔均连接有控制器控制的抽真空系统，真空接收室的出气口或真空接收室的内腔与抽真空系统连通的管道上设置有分离器，电子枪连接有电源控制器，真空蒸发室和真空接收室上均设置有循环冷却装置。

2.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所述的真空蒸发室为钟罩型或方型或圆型，室壁为用双层不锈钢构建的双层不锈钢之间具有可充入冷却介质腔体的双层不锈钢冷却结构，室壁上设置有连通室壁腔体内的冷却介质进口和冷却介质出口形成真空蒸发室的循环冷却通道，真空蒸发室的室壁上设置有观察窗口及与控制器电连接的测量真空蒸发室内腔温度的热电偶。

3.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所述的装料装置的具体结构是：在真空蒸发室的室壁上设置有伸入真空蒸发室内腔内且开口位于坩埚上方的输料管，真空蒸发室的室壁外侧的输料管的上端开口上连接有送料装料室，室壁外侧的输料管上设置有一个以上的放料阀。

4.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所真空机械泵通过管道与罗茨泵连通，罗茨泵通过管道与扩散泵连通，扩散泵通过管道与分离器或/和真空蒸发室的内腔连通，扩散泵与分离器或/和真空蒸发室的内腔之间连通的管道上设置有测量真空蒸发室或/和真空接收室内腔真空度的电阻规管，真空机械泵、罗茨泵、扩散泵、电阻规管与控制器电连接。

5.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所述抽真空系统的具体结构是：分离器或/和真空蒸发室的内腔通过管道并联连接有真空机械泵和蜗轮分子泵，所述的管道上设置有测量真空接收室或/和真空蒸发室内腔真空度的电阻规管，真空机械泵、涡轮分子泵、电阻规管与控制器电连接。

6.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所述真空接收室的内壁上和内腔内设置有循环冷却装置的具体结构是：真空接收室的室壁上设置有出料门盖、夹层式介质通过腔及伸入真空接收室内测量真空接收室内腔温度的热电偶，真空接收室的侧壁上设置有冷却介质进口和冷却介质出口，冷却介质进口与冷却介质出口上通过管道连通有有制冷循环装置及控制阀，真空接收室内腔内设置的冷却管道的一端开口于冷却介质进口、另一端开口于冷却介质出口，热电偶、制冷循环装置及控制阀与控制器电连接。

7.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所述控制器包括控制箱、设置在控制箱内的控制电路、设置在控制箱前面板上与控制电路电连接的控制按钮、指示灯及智能触摸屏。

8.根据权利要求1所述的应用电子反应束制作超细金属粉末的装置，其特征在于：所述电子枪有一把或多把垂直或倾角向下或平行安装在真空蒸发室的室壁上，其功率为10kw/h～600kw/h，加速电压为10kv～65kv，电子枪发射的电子反应束偏转角为5～36℃，电子枪的抽真空系统由1～2级真空系统组成，每级抽真空由旋片泵加扩散泵或旋片泵加蜗轮分子泵组成，电子枪内的真空度为1×10^-1.5～1×10^-3pa。