[实用新型]狭缝阀门辅助拆卸装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及狭缝阀门技术领域，特别涉及一种狭缝阀门辅助拆卸装置。

背景技术

在半导体、平板显示器、光伏/太阳能板以及其它基板处理系统中，通常将真空腔室(例如传送腔室和处理腔室)排置为群集式组合，用以传送和处理基板。图1是基板处理系统的群集式真空腔室的局部结构示意图。如图1所示，其仅绘示了群集式真空腔室的一个传送腔室203和一个处理腔室204连接处的局部结构示意图。为了确保基板处理系统的真空状态，在传送腔室203和处理腔室204之间设置有狭缝阀门(slit valve)202。狭缝阀门202包括阀门主体202a和阀门连接部202b。阀门主体202a通过多个螺栓205固定连接在阀门连接部202b的下方，而阀门连接部202b则固定连接在传送腔室203和处理腔室204之间。在处理腔室204工作过程中，狭缝阀门202位于传送腔室203和处理腔室204之间，作为隔绝处理腔室204和传送腔室203的门阀，与传送腔室203和处理腔室204紧密密合，保证处理腔室204的真空环境。然而，狭缝阀门202在使用过程中会出现一些需要拆卸检修的问题，例如当狭缝阀门202内部的气阀导管(图未示)发生内漏，或玻璃基板破片碎屑掉落在狭缝阀门202内部时，则需要通过狭缝阀门拆卸吊具拆卸狭缝阀门202以进行修理作业。

图2是现有狭缝阀门拆卸吊具拆卸狭缝阀门的结构示意图。如图2所示，狭缝阀门拆卸吊具200包括控制器210和吊架220，吊架220包括承载横梁222、第一吊臂224、第二吊臂226和吊装螺栓228。控制器210连接于承载横梁222，第一吊臂224和第二吊臂226顺着吊装方向A平行设置并连接于承载横梁222的两端，吊装螺栓228设置于第一吊臂224和第二吊臂226远离承载横梁222的一端。需要拆卸狭缝阀门202进行检修时，先将狭缝阀门拆卸吊具200设置在阀门连接部202b上方，并将第一吊臂224和第二吊臂226通过吊装螺栓228分别固定连接在狭缝阀门202的阀门主体202a的两端，此时由于狭缝阀门拆卸吊具200的吊载作用，即可拆卸掉阀门连接部202b与阀门主体202a之间的螺栓205。之后，控制器210控制吊架沿吊装方向A向下移动，从而实现阀门主体202a和阀门连接部202b的分离，然后人工搬运至空地进行检修。

但是，由于狭缝阀门拆卸吊具200只单纯的通过吊装螺栓228固定连接狭缝阀门202的阀门主体202a，而普通的狭缝阀门202的阀门主体202a均具有一定重量(例如为200㎏)，所以很容易造成狭缝阀门202的阀门主体202a由于自身重量而从第一吊臂224与第二吊臂226之间脱落下来，不仅容易使真空腔室外部的管路或者设备被砸坏而造成损失，而且对拆卸操作的工作人员来说也存在较大的安全隐患。此外，基板处理系统的真空腔室由于采用群集式组合排置，各真空腔室之间的间隔空间较小，拆卸下狭缝阀门202的阀门主体202a之后还需要进行搬运，空间受到一定限制，不仅导致检修不便，检修效率低下，而且同样容易损坏真空腔室外部的管路或者设备，具有安全隐患。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供了一种狭缝阀门辅助拆卸装置，能够优化检修流程，提高检修效率，避免损坏管路设备，减少安全隐患。

本实用新型解决其技术问题是采用以下的技术方案来实现的。

一种狭缝阀门辅助拆卸装置，适于辅助拆卸狭缝阀门，狭缝阀门包括阀门主体以及阀门连接部，阀门主体连接于阀门连接部的下方。狭缝阀门辅助拆卸装置包括控制器和吊架，控制器连接于吊架，控制吊架沿吊装方向上下移动。吊架具有第一吊装端和第二吊装端，第一吊装端和第二吊装端可拆卸的固定连接于狭缝阀门的阀门主体。狭缝阀门辅助拆卸装置还包括多个承载螺栓，多个承载螺栓的长度延伸方向平行于吊架的吊装方向。多个承载螺栓可拆卸的穿设阀门主体并连接于吊架沿吊装方向向下移动后具有预定间隔距离的阀门连接部和阀门主体之间。

在本实用新型的较佳实施例中，上述吊架包括承载横梁、第一吊臂和第二吊臂。承载横梁垂直于吊装方向并与控制器连接，承载横梁的两端分别连接第一吊臂和第二吊臂。第一吊装端设于第一吊臂远离承载横梁的一端，第二吊装端设于第二吊臂远离承载横梁的一端。

在本实用新型的较佳实施例中，上述第一吊臂和第二吊臂相互平行且垂直地连接于承载横梁。

在本实用新型的较佳实施例中，上述第一吊装端和第二吊装端分别设有吊装固定元件。第一吊装端的吊装固定元件连接于第一吊臂与阀门主体之间，第二吊装端的吊装固定元件连接于第二吊臂与阀门主体之间。