[实用新型]基于声表面波原理的激发式无源气体传感器有效
| 申请号： | 201420709190.X | 申请日： | 2014-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN204177733U | 公开（公告）日： | 2015-02-25 |
| 发明（设计）人： | 章义军;金国亮;高久国;丁海华;郑城;周俊杰;何锋;何寅 | 申请（专利权）人： | 国家电网公司;国网浙江省电力公司湖州供电公司;国网浙江安吉县供电公司 |
| 主分类号： | G01N21/17 | 分类号： | G01N21/17 |
| 代理公司： | 杭州华鼎知识产权代理事务所(普通合伙) 33217 | 代理人： | 秦晓刚 |
| 地址： | 100045 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 表面波 原理 激发 无源 气体 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.基于声表面波原理的激发式无源气体传感器，其特征在于：包括声表面波发生装置、声表面波激发装置、探测光束发射装置以及光束强度检测装置，所述声表面波发生装置包括金属靶材和设于金属靶材表面的气体选择性吸附膜，所述声表面波激发装置向声表面波发生装置发射激光并在声表面波发生装置中激发出各种波型，所述探测光束发射装置向声表面波发生装置发射探测光束，所述光束强度检测装置接收探测光束的反射光并检测探测光束的强度。
2.根据权利要求1所述的基于声表面波原理的激发式无源气体传感器，其特征在于：所述声表面波激发装置包括激光器、光束分离器以及柱面透镜，激光器激发激光脉冲，激光脉冲通过光束分离器后被柱面透镜聚焦到声表面波发生装置上。
3.根据权利要求1所述的基于声表面波原理的激发式无源气体传感器，其特征在于：所述探测光束发射装置包括半导体激光器，所述半导体激光器激发的探测光束由聚焦透镜聚焦在声表面波发生装置表面。
4.根据权利要求1所述的基于声表面波原理的激发式无源气体传感器，其特征在于：所述光束强度检测装置包括光电倍增管，探测光束的反射光由一个显微透镜聚焦并通过光电倍增管转化为电信号。
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