[实用新型]一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置有效
申请号: | 201420711946.4 | 申请日: | 2014-11-25 |
公开(公告)号: | CN204179067U | 公开(公告)日: | 2015-02-25 |
发明(设计)人: | 丁海生;陈迎志;杨亚萍;郑翔;刘正龙;王宗华 | 申请(专利权)人: | 铜陵三佳山田科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67 |
代理公司: | 铜陵市天成专利事务所 34105 | 代理人: | 程霏 |
地址: | 244000 安徽*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 带有 分层 推杆 机构 半导体 制品 排出 装置 | ||
1.一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置,其特征是包括推杆(2)、分离模具(3)和下料轨道(5),所述推杆(2)排成两排,相邻两个推杆(2)在垂直方向上有高度差;所述分离模具(3)包括由驱动装置驱动的凸起柱(8)和下压盖板,所述凸起柱(8)在水平方向与半导体制品相适配,相邻两个凸起柱(8)在垂直方向上有高度差;所述下料轨道(5)与半导体制品相适配,相邻下料轨道(5)在垂直方向上有高度差。
2.根据权利要求1所述的一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置,其特征是所述下料轨道(5)还配有轨道盖板(6),所述下料轨道(5)和轨道盖板(6)组成的形腔与半导体制品相适配。
3.根据权利要求1或2所述的一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置,其特征是相邻两个推杆(2)垂直方向上的高度差、分离模具(3)中相邻两个凸起柱(8)垂直方向上的高度差和相邻两个下料轨道(5)和轨道盖板(6)组成的形腔垂直方向上的高度差,三者高度差相匹配。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造