[实用新型]一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置有效

专利信息
申请号: 201420711946.4 申请日: 2014-11-25
公开(公告)号: CN204179067U 公开(公告)日: 2015-02-25
发明(设计)人: 丁海生;陈迎志;杨亚萍;郑翔;刘正龙;王宗华 申请(专利权)人: 铜陵三佳山田科技有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67
代理公司: 铜陵市天成专利事务所 34105 代理人: 程霏
地址: 244000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 带有 分层 推杆 机构 半导体 制品 排出 装置
【权利要求书】:

1.一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置,其特征是包括推杆(2)、分离模具(3)和下料轨道(5),所述推杆(2)排成两排,相邻两个推杆(2)在垂直方向上有高度差;所述分离模具(3)包括由驱动装置驱动的凸起柱(8)和下压盖板,所述凸起柱(8)在水平方向与半导体制品相适配,相邻两个凸起柱(8)在垂直方向上有高度差;所述下料轨道(5)与半导体制品相适配,相邻下料轨道(5)在垂直方向上有高度差。

2.根据权利要求1所述的一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置,其特征是所述下料轨道(5)还配有轨道盖板(6),所述下料轨道(5)和轨道盖板(6)组成的形腔与半导体制品相适配。

3.根据权利要求1或2所述的一种带有分层式推杆机构的半导体制品排出装置,其特征是相邻两个推杆(2)垂直方向上的高度差、分离模具(3)中相邻两个凸起柱(8)垂直方向上的高度差和相邻两个下料轨道(5)和轨道盖板(6)组成的形腔垂直方向上的高度差,三者高度差相匹配。

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