[实用新型]一种射频大功率耦合器

权利要求书

1.一种射频大功率耦合器，其特征是包括外导体,外导体内设置有内导体和碗状陶瓷窗，所述的外导体包括圆柱筒形前段、圆锥筒形中段和碗状陶瓷窗安装段，圆柱筒形前段前端设置有旋转活套法兰，圆锥筒形中段上设置有内外导体组合水路，碗状陶瓷窗安装段的前端设置有第一支撑法兰和第二支撑法兰，碗状陶瓷窗安装段后端设置有圆形法兰，所述的内导体包括半圆型环状结构的电磁耦合环，电磁耦合环通过真空钎焊与圆形直管相连，圆形直管后端设置有圆锥形变阻管，圆锥形变阻管尾部与碗状陶瓷窗相连，圆形直管和圆锥形变阻管内设置有内导体水路，所述的碗状陶瓷窗前端外径处设置有陶瓷窗压紧法兰和陶瓷窗螺纹压圈，碗状陶瓷窗后端内径处设置有过渡套筒，对应碗状陶瓷窗设置有陶瓷窗基座，陶瓷窗基座后端设置有插座，插座上安装有插座内水路。

2.如权利要求1所述的一种射频大功率耦合器，其特征在于：所述的第一支撑法兰上还设置有碗状陶瓷窗水路，所述的外导体的碗状陶瓷窗安装段外侧设置有外导体冷却水套，外导体冷却水套两端安装有外导体冷却水套前堵头和外导体冷却水套后堵头，外导体冷却水套上还设置有碗状陶瓷窗安装段辅助水路。

3.如权利要求1所述的一种射频大功率耦合器，其特征在于：所述的旋转活套法兰与外导体腔体之间设置有第一密封圈和导电弹簧，旋转活套法兰用于耦合度的调节，所述的第一支撑法兰和第二支撑法兰上也设置有导电弹簧；所述的圆锥筒形中段上设置有光电探测器导管，光电探测器导管前端通过光电探测上端法兰和光电下端法兰构成光电探测端口，所述的碗状陶瓷窗安装段用于固定碗状陶瓷窗,圆柱筒形前段、圆锥筒形中段和碗状陶瓷窗安装段采用真空钎焊组成一个整体，所述的第一支撑法兰和第二支撑法兰安装在圆锥筒形中段和碗状陶瓷窗安装段之间，圆锥筒形中段与第一支撑法兰之间设置有第二密封圈，第一支撑法兰与碗状陶瓷窗之间设置有第三密封圈，所述的陶瓷窗压紧法兰和陶瓷窗螺纹压圈设置在第一支撑法兰上，陶瓷窗压紧法兰与第一支撑法兰之间设置有第四密封圈，所述的电磁耦合环与圆形直管相连接处还设置有内导体前堵头，圆锥形变阻管后端设置有内导体后堵头，所述的碗状陶瓷窗内表面镀有氮化钛层，过渡套筒的前端设置有与内导体后堵头相连的过渡套筒前堵头，过渡套筒的后端设置有与陶瓷窗基座通过螺钉相连的过渡套筒后堵头，所述的插座内水路通过水路堵头安装在陶瓷窗基座上，插座直接配接同轴馈管内插芯与外部导体连接，用于馈入射频功率。

4.如权利要求3所述的一种射频大功率耦合器，其特征在于：所述的第一密封圈、第二密封圈、第三密封圈和第四密封圈均为耐高温氟橡胶O型密封圈，所述的导电弹簧为高频导电回路的O型导电弹簧；所述的圆锥筒形中段用于同轴传输线的变阻，所述的光电探测上端法兰和光电下端法兰之间设置有真空密封圈；所述的圆形法兰为外接端口，用于适配外部组件，碗状陶瓷窗安装段通过螺栓与外接标准馈管对接，圆柱筒形前段和圆锥筒形中段共用冷却水路，碗状陶瓷窗安装段独立供水冷却，所述的陶瓷窗压紧法兰为径向薄壁真空钎焊无氧铜法兰，所述的过渡套筒为轴向真空钎焊无氧铜薄壁过渡套筒。

5.如权利要求3所述的一种射频大功率耦合器，其特征在于：所述的电磁耦合环采用双铜管并行弯曲加工，电磁耦合环内部设置有一进一出两路冷却水，圆形直管内部的两路冷却水与电磁耦合环内部的冷却水相连通。

6.如权利要求3所述的一种射频大功率耦合器，其特征在于：所述的碗状陶瓷窗采用高频损耗小的95％三氧化二铝陶瓷经模具成形再烧结成碗状结构，碗状陶瓷窗内表面镀有氮化钛防止二次电子发射引起的电晕放电，所述的陶瓷窗压紧法兰用于高频导电与真空密封，过渡套筒用于连接前段内导体和后段功率馈入接口，同时消除内导体和陶瓷窗在传输功率时发热而引起的膨胀变形。